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专利号: 2022110789013
申请人: 南京信息工程大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2024-02-23
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.基于TaOx的金纳米周期性线阵列的可调控光电忆阻器,其特征在于:包括键合有硅片的玻璃基板,所硅片的表面镀设有氧化铟锡膜,所述氧化铟锡膜的表面镀设有铝膜,且铝膜为多孔氧化铝结构,所述铝膜的孔洞内填充有第一金纳米线,所述铝膜的上表面镀设有TaOx薄膜阻变层,所述TaOx薄膜阻变层的表面电沉积有多个间隔设置的第二金纳米线,所述TaOx薄膜阻变层的表面还涂覆有PVA涂层。

2.根据权利要求1所述的基于TaOx的金纳米周期性线阵列的可调控光电忆阻器,其特征在于:所述氧化铟锡膜的厚度为7nm,且氧化铟锡膜采用纯氩气磁控溅射沉积而成。

3.根据权利要求1所述的基于TaOx的金纳米周期性线阵列的可调控光电忆阻器,其特征在于:所述铝膜采用孔洞孔径为60nm、间距为50nm、高度为500nm的多孔氧化铝结构,且铝膜采用纯氩气磁控溅射沉积而成。

4.根据权利要求1所述的基于TaOx的金纳米周期性线阵列的可调控光电忆阻器,其特征在于:所述第一金纳米线的高度小于铝膜的孔洞深度,且第一金纳米线的上端面所在水平面低于铝膜的上表面所在水平面。

5.根据权利要求1所述的基于TaOx的金纳米周期性线阵列的可调控光电忆阻器,其特征在于:所述TaOx薄膜阻变层的厚度为5nm,且TaOx薄膜阻变层采用纯氩气磁控溅射沉积而成。

6.根据权利要求1所述的基于TaOx的金纳米周期性线阵列的可调控光电忆阻器,其特征在于:所述第二金纳米线的直径为60nm,间距为50nm,高度为200nm。

7.根据权利要求1所述的基于TaOx的金纳米周期性线阵列的可调控光电忆阻器,其特征在于:所述PVA涂层的厚度为100nm,且PVA涂层采用浓度为10%的PVA溶液在TaOx薄膜阻变层的表面旋涂而成。