1.一种半导体镀膜设备,包括:
底座(1)和控制装置(2),所述控制装置(2)固定安装在底座(1)上表面;
镀膜装置(3),所述镀膜装置(3)与控制装置(2)之间电性连接;
其特征在于:
所述镀膜装置(3)上设有多个输出端口(4),多个所述输出端口(4)上均设有电磁阀(5),多个所述电磁阀(5)均与控制装置(2)之间电性连接,所述镀膜装置(3)前表面水平固定设置有传感器(30),所述传感器(30)与控制装置(2)之间电性连接;
紧固组件,所述紧固组件为多组,所述紧固组件包括吸盘(6)、筒体(7)、转动部件和气动部件,所述转动部件设置在筒体(7)顶端,所述气动部件设置在筒体(7)内部,所述吸盘(6)设置在转动部件顶端,且与筒体(7)内部贯通;
输送部件,所述输送部件用于带动多组紧固组件移动;
下拉组件,所述下拉组件用于带动气动部件运转;
所述气动部件包括活塞(8)、拉杆(9)、弹簧(10)和两个撑块(11),所述活塞(8)密封滑动套设在筒体(7)内,所述拉杆(9)垂直固定安装在活塞(8)底部,两个所述撑块(11)对称固定安装在筒体(7)内侧壁,所述弹簧(10)套设在拉杆(9)上,且上下两端分别与活塞(8)底侧和两个撑块(11)上侧固定连接;
所述下拉组件包括两个导轨(22)、四个第一支架(23)和多组滚压部件,四根所述第一支架(23)对称垂直固定安装在底座(1)上表面,两根所述导轨(22)水平对称设置,且分别与四根第一支架(23)相互靠近的一端固定连接,所述导轨(22)底面中部为水平面,且两端呈圆弧面,多组所述滚压部件分别设置在多根拉杆(9)底部,所述滚压部件包括挡板(24)、撑杆(25)和两个滚筒(26),所述挡板(24)垂直固定安装在拉杆(9)底端,所述撑杆(25)水平固定套接在挡板(24)内,两个所述滚筒(26)均转动套设在撑杆(25)上,且位于挡板(24)两侧。
2.根据权利要求1所述的一种半导体镀膜设备,其特征在于:所述输送部件包括两个撑架(12)、两根转轴(13)、四个带轮(14)和两根传动带(15),两个所述撑架(12)对称垂直固定安装在底座(1)上表面,两根所述转轴(13)分别转动套设在两个撑架(12)内,四个所述带轮(14)分别固定套接在两根转轴(13)两端,两根所述传动带(15)分别嵌设在四个带轮(14)外侧,两根所述传动带(15)之间固定安装有多个连架(16),多个所述筒体(7)分别固定套接在多个连架(16)内。
3.根据权利要求2所述的一种半导体镀膜设备,其特征在于:所述转动部件包括套筒(20)和密封轴承(21),所述套筒(20)通过密封轴承(21)转动套设在筒体(7)顶端,所述吸盘(6)固定安装在套筒(20)顶端。
4.根据权利要求3所述的一种半导体镀膜设备,其特征在于:还包括推动部件,所述推动部件包括多个齿轮(27)和齿条(28),所述底座(1)上表面垂直固定安装有两个第二支架(29),所述齿条(28)水平固定安装在两个第二支架(29)端部,多个所述齿轮(27)分别固定套接在多个套筒(20)上,所述镀膜装置(3)水平固定安装在两个第二支架(29)上。