1.一种晶片圆心校正方法,其特征在于,该方法包括:获取待测晶片图像中多段圆弧边缘;
获取每段圆弧边缘中每个边缘像素点的邻域链码,将邻域链码中没有出现预设误差位置的边缘像素点作为正常像素点,将邻域链码中出现预设误差位置的边缘像素点作为非正常像素点;
根据每个非正常像素点与其邻域像素点的位置关系,将非正常像素点分为完全误差像素点和部分误差像素点;
根据每个部分误差像素点邻域链码的码源总个数和邻域链码中出现预设误差位置的码源个数,计算出每个部分误差像素点出现误差位置概率;
利用每段圆弧边缘中包含的正常像素点个数和部分误差像素点个数,计算出每段圆弧边缘的误差程度;
建立极坐标系,将每段圆弧边缘的起始点和终止点在极坐标系中的极角差值,作为每段圆弧边缘的前进角度值;
利用每个部分误差像素点所在圆弧边缘的误差程度、所在圆弧边缘的前进角度值以及每个部分误差像素点出现误差位置概率,计算出每个部分误差像素点的误差程度;
根据所有部分误差像素点出现误差位置概率计算出误差程度阈值,选取出误差程度小于误差程度阈值的部分误差像素点与正常像素点共同组成每段圆弧边缘的目标像素点集合;
利用待测晶片图像中每段圆弧边缘的目标像素点集合,对该待测晶片图像进行霍夫圆检测获取晶片圆心位置;
所述根据每个非正常像素点与其邻域像素点的位置关系,将非正常像素点分为完全误差像素点和部分误差像素点的步骤包括:获取每个非正常像素点的邻域链码;
将邻域链码中仅存在预设误差位置的非正常像素点,作为完全误差像素点;
将邻域链码中既存在预设误差位置也存在预设正常位置的像素点,作为部分误差像素点;
所述计算出每个部分误差像素点的误差程度的步骤包括:计算出每个部分误差像素点所在圆弧边缘的误差程度,与该部分误差像素点出现误差位置概率的第三比值;
计算出每个部分误差像素点所在圆弧边缘的前进角度值与第三比值的乘积,并将该乘积作为该部分误差像素点的误差程度;
所述预设误差位置为:
以每段圆弧边缘中每个边缘像素点为中心点,将中心点的上方、下方、左方以及右方的邻接位置,均作为预设误差位置;
所述计算出每个部分误差像素点出现误差位置概率的步骤包括:将每个部分误差像素点邻域链码中出现预设误差位置的码源个数,与该部分误差像素点邻域链码的码源总个数第一比值,作为每个部分误差像素点出现误差位置概率;
所述计算出每段圆弧边缘的误差程度的步骤包括:将每段圆弧边缘中包含的部分误差像素点个数与正常像素点个数的第二比值,作为每段圆弧边缘的误差程度;
所述每段圆弧边缘的前进角度值的计算步骤包括:以每段圆弧边缘的圆心为极点、以水平向右的射线为极径建立极坐标系;
将每段圆弧边缘的起始点在极坐标系中的角坐标作为起始角坐标;
将每段圆弧边缘的终止点在极坐标系中的角坐标作为终止角坐标;
将每段圆弧边缘对应的起始角坐标与终止角坐标差值的绝对值,作为每段圆弧边缘的前进角度;
所述根据所有部分误差像素点出现误差位置概率计算出误差程度阈值的步骤包括:将所有部分误差像素点出现误差位置概率的均值作为误差程度阈值。