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专利号: 2022116432156
申请人: 冯洋
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2024-11-22
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种用于干燥粉末的多孔式MEMS气体传感器,包括绝缘套框(8)和贴合在绝缘套框(8)顶部中间位置的顶盖(5),所述顶盖(5)的顶部开设有等距离呈环形分布的透气孔(4),且顶盖(5)的外围和绝缘套框(8)的外围设置有同一个外壳(1),其特征在于,所述顶盖(5)的两侧与外壳(1)的两侧之间设置有拆装组件,所述绝缘套框(8)的内部设置有MEMS气体传感器组装组件,所述顶盖(5)的顶部内壁中间位置固定安装有微型电机(22),且微型电机(22)的输出轴底部固定有第一十字架(31),第一十字架(31)的外壁固定有大齿圈(16),大齿圈(16)的底部一侧固定安装有贴合在MEMS气体传感器组装组件顶部的清洁板(23),其中两个相对称的所述透气孔(4)底部设置有鼓风组件,且这两个透气孔(4)的顶部均固定安装有防尘网(18);

所述MEMS气体传感器组装组件包括设置在绝缘套框(8)底部内壁的MEMS芯板(9),且MEMS芯板(9)的顶部两侧均设置有绝缘垫(12),绝缘垫(12)的顶部设置有同一个硅衬底(13),硅衬底(13)的顶部中间位置设置有电阻,硅衬底(13)的表面贴附有加热薄膜,所述硅衬底(13)的顶部中间位置和电阻的顶部贴合有敏感元件(10),且敏感元件(10)设置为金属氧化物或导电聚合物,所述硅衬底(13)的顶部两侧均与绝缘套框(8)的顶部内壁两侧之间设置有电极板(14),且硅衬底(13)的内壁之间设置有二极管(20),二极管(20)与电极板(14)之间电性连接,所述二极管(20)的一端与MEMS芯板(9)之间设置有引脚(19),且MEMS芯板(9)的底部设置有延伸出外壳(1)的电接头(35),电接头(35)的底部设置有数据线(2),过MEMS芯板(9)、绝缘垫(12)、硅衬底(13)、电阻、加热薄膜、敏感元件(10)、电极板(14)、二极管(20)、引脚(19)、电接头(35)和数据线(2)组成一种用于干燥粉末的多孔式MEMS气体传感器;

所述鼓风组件包括固定安装在相对称的两个透气孔(4)底部的风筒(26),且风筒(26)的内壁底部均固定有第三十字架(30),第三十字架(30)的内壁均转动连接有传动轴(29),传动轴(29)的外壁顶部均固定有扇叶组件(28),所述传动轴(29)的外壁底部均固定有第二十字架,且第二十字架的外壁均固定有与大齿圈(16)两侧相啮合的小齿圈(27),利用微型电机(22)带动第一十字架(31)、大齿圈(16)、清洁板(23)和鼓风组件组成,通过大齿圈(16)与小齿圈(27)的啮合作用带动小齿圈(27)旋转,利用清洁板(23)对敏感元件(10)表面附着的粉末进行清理,再利用鼓风组件内的小齿圈(27)、传动轴(29)和扇叶组件(28)加快MEMS气体传感器内部的气体流量,可将MEMS气体传感器内部的粉末通过透气孔(4)排出。

2.如权利要求1所述的一种用于干燥粉末的多孔式MEMS气体传感器,其特征在于,所述敏感元件(10)的顶面设置为球面结构,且清洁板(23)设置为弧形结构,清洁板(23)贴合在敏感元件(10)的顶面。

3.如权利要求2所述的一种用于干燥粉末的多孔式MEMS气体传感器,其特征在于,所述顶盖(5)的顶部内壁固定安装有等距离呈环形分布的缓冲杆(25),且缓冲杆(25)的底部固定有同一个贴合在敏感元件(10)顶部的按压环(11),缓冲杆(25)由缓冲筒、伸缩杆和第二弹簧组成,第二弹簧焊接在缓冲筒和伸缩杆之间。

4.如权利要求3所述的一种用于干燥粉末的多孔式MEMS气体传感器,其特征在于,所述拆装组件包括开设在顶盖(5)两侧的锁止槽(17),且外壳(1)的两侧均开设有呈T型的把手槽(3),相邻的把手槽(3)内部和锁止槽(17)的内部插接有同一个锁止板(15),所述锁止板(15)的一端均固定有把手杆(24),且锁止板(15)的顶部一侧固定有连接板,连接板的一侧与外壳(1)的一侧内壁之间固定有第一弹簧(21)。

5.如权利要求4所述的一种用于干燥粉末的多孔式MEMS气体传感器,其特征在于,所述绝缘套框(8)的顶部中间位置开设有供敏感元件(10)和按压环(11)活动的中心孔(32),且绝缘套框(8)的顶部四角均开设有限位槽(33),且顶盖(5)的底部四周中间位置均固定有插接在限位槽(33)内的限位座(34)。

6.如权利要求5所述的一种用于干燥粉末的多孔式MEMS气体传感器,其特征在于,所述外壳(1)的顶部四周内壁固定有防护网(6),且顶盖(5)的四周外壁与防护网(6)的四周内壁相吻合,所述外壳(1)的底部四角均固定安装有安装角座(7)。