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专利号: 2022205525839
申请人: 泉州市微米电子科技有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
专利领域: 一般喷射或雾化;对表面涂覆液体或其他流体的一般方法〔2〕
更新日期:2023-09-26
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种半导体芯片的喷涂加工装置,包括罐体(1),其特征在于:所述罐体(1)的上端设置有用于供喷涂物料进入罐体(1)内部的进料管(2),所述罐体(1)的下端设置有用于供罐体(1)中的喷涂物料排出的出料管(4),所述罐体(1)的内部设置有供罐体(1)内部的喷涂物料加热的加热组件,还设置有供罐体(1)内部的喷涂物料充分混合的搅拌组件,所述出料管(4)的下方内部设置有调节从出料管(4)中喷出的喷涂物料喷涂面积、速度、方向的调节组件。

2.根据权利要求1所述的一种半导体芯片的喷涂加工装置,其特征在于:所述调节组件包括固定在出料管(4)外圈处的环形盒体(5)和固定在出料管(4)内圈处的环形气囊(14),所述环形气囊(14)的内部设置有四组相对称的气腔(15),所述环形盒体(5)上分别通过四组气体通道(16)连通四组气腔(15)的内部,所述气体通道(16)中设置有电磁阀(17),所述环形盒体(5)的上表面固定设置有连通环形盒体(5)内部的抽吸单元(6)。

3.根据权利要求1所述的一种半导体芯片的喷涂加工装置,其特征在于:所述加热组件包括加热单元(11),所述加热单元(11)在罐体(1)的内部设置有多组,多组加热单元(11)等距离分布。

4.根据权利要求1所述的一种半导体芯片的喷涂加工装置,其特征在于:所述搅拌组件包括活动插合在罐体(1)两侧内壁的支撑轴(7),所述支撑轴(7)转动设在转动套(9)中,转动套(9)的外圈固定焊接有搅动板(10),搅动板(10)呈圆形阵列状在转动套(9)的外圈设置有多组,所述搅动板(10)设置于罐体(1)内部对应进料管(2)正下方的位置。

5.根据权利要求4所述的一种半导体芯片的喷涂加工装置,其特征在于:所述支撑轴(7)穿过罐体(1)外表面的一端通过螺纹配合连接有限位螺母(8),所述支撑轴(7)穿过罐体(1)的位置通过橡胶圈密封。

6.根据权利要求1所述的一种半导体芯片的喷涂加工装置,其特征在于:所述进料管(2)的上端连通有外接管(3),所述进料管(2)的底部连通罐体(1)的内部。

7.根据权利要求1所述的一种半导体芯片的喷涂加工装置,其特征在于:所述出料管(4)的上端连通罐体(1)的底部,罐体(1)的底部均有漏斗面,漏斗面的底部与出料管(4)对接。