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专利号: 202220957549X
申请人: 苏州聚万昌精密工业有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2024-08-26
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种用于探针机的晶圆承载台,包括台体(1),所述台体(1)上端面中间位置开设有圆槽(8),其特征在于:所述台体(1)上端面以顶块(5)为中心阵列开设有至少六个限位槽(9),所述限位槽(9)内均滑动连接有滑动块(18),所述滑动块(18)上端穿出限位槽(9)的位置固定连接有限位块(4),台体(1)内部远离圆槽(8)的一侧靠近限位槽(9)的位置均开设有安装腔(21),所述安装腔(21)和限位槽(9)之间均开设有连接孔(11),所述安装腔(21)内安装有用于调整滑动块(18)位置的调整组件;

所述圆槽(8)内还安装有用于对放置的晶圆顶出的顶出组件。

2.根据权利要求1所述的一种用于探针机的晶圆承载台,其特征在于,所述调整组件包括螺纹套(19),所述螺纹套(19)转动连接在连接孔(11)内,所述螺纹套(19)远离限位槽(9)的一端安装有第一锥齿轮(12),所述螺纹套(19)内螺纹连接有螺纹杆(20),所述螺纹杆(20)靠近限位槽(9)的一端与滑动块(18)固定连接,所述台体(1)上端面均设有用于驱动第一锥齿轮(12)进行转动的驱动组件。

3.根据权利要求2所述的一种用于探针机的晶圆承载台,其特征在于,所述驱动组件包括转动轴(6),所述安装腔(21)靠近限位槽(9)的一侧均转动连接有转动轴(6),转动轴(6)上端穿出台体(1)的位置固定连接有同步带轮(3),所述转动轴(6)下端固定连接有第二锥齿轮(23),所述第二锥齿轮(23)与第一锥齿轮(12)相啮合,所述同步带轮(3)之间安装有同步带(7),所述台体(1)一侧的转动轴(6)上端穿出同步带轮(3)的位置固定连接有转动柄(10)。

4.根据权利要求1所述的一种用于探针机的晶圆承载台,其特征在于,所述顶出组件包括滑动腔(22),两个所述滑动腔(22)分别开设在台体(1)中间和台体(1)一侧的位置,所述台体(1)中间的滑动腔(22)内滑动连接有第一活塞块(13),第一活塞块(13)上端面中间位置固定连接有推杆(17),推杆(17)与台体(1)滑动连接,推杆(17)上端位于圆槽(8)内的一端固定连接有顶块(5),所述推杆(17)位于第一活塞块(13)和滑动腔(22)上端面之间的位置穿设有弹簧(14),所述台体(1)上还设有用于推动第一活塞块(13)上下移动的推动组件。

5.根据权利要求4所述的一种用于探针机的晶圆承载台,其特征在于,所述推动组件包括第二活塞块(16),所述第二活塞块(16)滑动连接在台体(1)一侧的滑动腔(22)内,两个滑动腔(22)之间还设有导液通道,导液通道内设有液压油(15),所述第二活塞块(16)上端面中间固定连接有压杆(2),压杆(2)与台体(1)滑动连接。

6.根据权利要求5所述的一种用于探针机的晶圆承载台,其特征在于,所述压杆(2)上端固定连接有压片。

7.根据权利要求1所述的一种用于探针机的晶圆承载台,其特征在于,所述台体(1)下端面贴设有橡胶材质的防滑垫。

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