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专利号: 2022210397493
申请人: 苏州维芯诺半导体有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2024-08-09
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种用于芯片测试用的悬臂探针卡,包括支撑板(1)和基板(6),其特征在于:所述支撑板(1)的底部安装有两组支撑卡槽(4),所述支撑卡槽(4)的内侧嵌合安装有支撑卡件(5),所述支撑卡件(5)的内侧安装有基板(6),所述基板(6)的内侧贯穿安装有连接座(7),所述连接座(7)的一侧安装有悬臂(8),所述悬臂(8)的一端安装有探针(9),所述基板(6)的底部安装有安装座(10),所述安装座(10)的底部安装有限位座(11)。

2.根据权利要求1所述的一种用于芯片测试用的悬臂探针卡,其特征在于:所述支撑板(1)的顶部安装有伸缩杆(2),伸缩杆(2)的顶端安装有安装板(3)。

3.根据权利要求1所述的一种用于芯片测试用的悬臂探针卡,其特征在于:所述支撑板(1)的底部安装有连接板(14),连接板(14)与连接座(7)的顶端连接。

4.根据权利要求1所述的一种用于芯片测试用的悬臂探针卡,其特征在于:所述基板(6)的内侧贯穿安装有螺纹杆(12),螺纹杆(12)的顶端通过螺纹安装在内螺纹接口(13)的内侧。

5.根据权利要求1所述的一种用于芯片测试用的悬臂探针卡,其特征在于:所述限位座(11)的内侧安装有橡胶垫(15),探针(9)位于橡胶垫(15)的内侧。

6.根据权利要求1所述的一种用于芯片测试用的悬臂探针卡,其特征在于:所述支撑板(1)的底部开设有若干组内螺纹接口(13),内螺纹接口(13)位于连接板(14)与支撑卡槽(4)之间。