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专利号: 2022210695219
申请人: 苏州维芯诺半导体有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2024-06-06
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种探针生产尺寸测量用工具显微镜,包括固定板(1)和承载板(2),其特征在于:所述固定板(1)的顶部安装有承载板(2);

所述固定板(1)的顶部安装有测量光栅发射器(3),且测量光栅发射器(3)位于承载板(2)的一侧,所述固定板(1)的顶部安装有测量光栅接收器(4),且测量光栅接收器(4)位于承载板(2)的另一侧;

所述固定板(1)的底部安装有四组支撑脚(5)。

2.根据权利要求1所述的一种探针生产尺寸测量用工具显微镜,其特征在于:所述固定板(1)的顶部安装有伺服丝杆(6),且伺服丝杆(6)位于承载板(2)的后方。

3.根据权利要求2所述的一种探针生产尺寸测量用工具显微镜,其特征在于:所述伺服丝杆(6)的输出端安装有连接板(7),所述连接板(7)的底部安装有电子物镜(8)。

4.根据权利要求3所述的一种探针生产尺寸测量用工具显微镜,其特征在于:所述连接板(7)的正面安装有控制屏(9)。

5.根据权利要求1所述的一种探针生产尺寸测量用工具显微镜,其特征在于:所述固定板(1)的正面安装有固定栓(10)。

6.根据权利要求5所述的一种探针生产尺寸测量用工具显微镜,其特征在于:所述固定栓(10)的正面贯穿安装有换气扇(11)。

7.根据权利要求1所述的一种探针生产尺寸测量用工具显微镜,其特征在于:所述固定板(1)的底部安装有倾角传感器(12),且倾角传感器(12)位于支撑脚(5)的内侧。