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专利号: 2022210872711
申请人: 苏州维芯诺半导体有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
专利领域: 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕
更新日期:2024-07-23
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种悬臂探针卡加工用腐蚀机,包括机体(1)、固定架(2)和传动板(3),其特征在于:

所述机体(1)的顶部安装有固定架(2);

所述固定架(2)的内部顶壁安装有气缸(201),所述气缸(201)的输出端安装有压板(202),所述机体(1)的顶部安装有放置块(203),所述放置块(203)的内壁开设有槽体(204),所述放置块(203)的内部底壁安装有弹簧(205),所述弹簧(205)的顶部安装有放置板(206),所述放置板(206)的底部安装有连杆(207),且连杆(207)的一端延伸进槽体(204)的内部,所述连杆(207)的底部安装有浸入块(208),所述放置块(203)的内部底壁开设有喷出孔(209),且喷出孔(209)的一端延伸进槽体(204)的内部,所述喷出孔(209)的顶部安装有密封垫(210),所述放置块(203)的外壁安装有水泵(211),所述水泵(211)的底部安装有运输管(212),且运输管(212)的一端延伸进槽体(204)的内部;

所述机体(1)的顶部安装有传动板(3)。

2.根据权利要求1所述的一种悬臂探针卡加工用腐蚀机,其特征在于:所述槽体(204)的内壁安装有传感器(213)。

3.根据权利要求1所述的一种悬臂探针卡加工用腐蚀机,其特征在于:所述机体(1)的外壁安装有控制面板(101),机体(1)的外壁开设有散热槽(102),机体(1)的顶部安装有储存箱(103)。

4.根据权利要求1所述的一种悬臂探针卡加工用腐蚀机,其特征在于:所述传动板(3)的内壁安装有齿板(301)。

5.根据权利要求1所述的一种悬臂探针卡加工用腐蚀机,其特征在于:所述传动板(3)的外壁安装有防护门(4),防护门(4)的外壁开设有观察窗(401)。

6.根据权利要求5所述的一种悬臂探针卡加工用腐蚀机,其特征在于:所述防护门(4)的外壁安装有固定板(5),且固定板(5)的一侧外壁延伸进传动板(3)的内部,固定板(5)的外壁安装有电机(501),电机(501)的输出端安装有齿轮(502),且齿轮(502)与齿板(301)啮合。

7.根据权利要求1所述的一种悬臂探针卡加工用腐蚀机,其特征在于:所述传动板(3)的内部顶壁安装有磁铁(6),固定板(5)的顶部安装有铁块(601)。