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专利号: 202222084710X
申请人: 绍兴高卓新材料科技有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
专利领域: 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕
更新日期:2025-01-08
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种自动上下料的PVD镀膜装置,包括镀膜机主体(1)和夹持组件(4),其特征在于:

所述镀膜机主体(1)的中部开设有真空室(2),且真空室(2)的顶部内壁固定安装有限位挡板(3),用于对物料上下转运的夹持组件(4)安装于限位挡板(3)的前端,所述夹持组件(4)包括连接块(401)、电动伸缩杆(402)、连接套筒(403)、液压杆(404)、伺服电机(405)、辅助电控杆(406)和柔性电动二指夹爪(407),所述连接块(401)的前端转动安装有电动伸缩杆(402),且电动伸缩杆(402)的末端连接有连接套筒(403),所述连接套筒(403)的内壁固定安装有液压杆(404),且液压杆(404)的左侧顶部固定安装有伺服电机(405),所述伺服电机(405)的上方与镀膜机主体(1)固定,所述液压杆(404)的右端垂直安装有辅助电控杆(406),且辅助电控杆(406)的底部设置有柔性电动二指夹爪(407)。

2.根据权利要求1所述的一种自动上下料的PVD镀膜装置,其特征在于,所述镀膜机主体(1)左侧顶部连接有抽气管道(5),且抽气管道(5)与真空室(2)贯通连接。

3.根据权利要求1所述的一种自动上下料的PVD镀膜装置,其特征在于,所述镀膜机主体(1)的右侧设置有转动杆(6),且转动杆(6)的右端贴合连接有限位连接件(7)。

4.根据权利要求3所述的一种自动上下料的PVD镀膜装置,其特征在于,所述限位连接件(7)的右端固定安装有控制柜(8),且控制柜(8)的左侧顶部与抽气管道(5)贯通。

5.根据权利要求1所述的一种自动上下料的PVD镀膜装置,其特征在于,所述镀膜机主体(1)的左侧设置有合页(9),且镀膜机主体(1)通过合页(9)转动安装有柜板(10)。

6.根据权利要求5所述的一种自动上下料的PVD镀膜装置,其特征在于,所述柜板(10)的前端设置有金属边框(11),且金属边框(11)的内部固定安装有固定螺丝(12)。

7.根据权利要求6所述的一种自动上下料的PVD镀膜装置,其特征在于,所述固定螺丝(12)的末端固定安装有透明玻璃(13),且金属边框(11)通过固定螺丝(12)将透明玻璃(13)与柜板(10)固定。