1.一种高压脉冲电源装置,其特征在于,包括依次连接的抗干扰电路(1)、整流电路(2)、Buck变换电路(3)、电感L2、二极管D6以及脉冲放电回路(4),所述Buck变换电路(3)包括半导体开关Q1,脉冲放电回路(4)包括半导体开关Q2,半导体开关Q1和半导体开关Q2的栅极均连接有控制半导体开关导通的PWM驱动电路。
2.根据权利要求1所述的高压脉冲电源装置,其特征在于,所述脉冲放电回路(4)包括储能电容C5、电感L3、半导体开关Q2和脉冲变压器TR1,储能电容C5、电感L3依次连接在脉冲变压器TR1的初级线圈的一端,半导体开关Q2的集电极连接在储能电容C5的一端,半导体开关Q2的发射极连接在脉冲变压器TR1的初级线圈的另一端。
3.根据权利要求1所述的高压脉冲电源装置,其特征在于,所述抗干扰电路(1)包括和工频交流电源连接的电容C1,电容C1的两端依次连接有共模电感LT1和电容C2。
4.根据权利要求1所述的高压脉冲电源装置,其特征在于,所述整流电路(2)为由二极管D1、D2、D3、D4构成的全桥整流电路(2)。
5.根据权利要求1所述的高压脉冲电源装置,其特征在于,所述整流电路(2)和Buck变换电路(3)之间设有滤波电容C3。
6.根据权利要求1所述的高压脉冲电源装置,其特征在于,所述Buck变换电路(3)包括半导体开关Q1,半导体开关Q1的集电极连接在滤波电容C3的一端,半导体开关Q2的发射极依次连接有电感L1、电容C4,在电感L1、电容C4的两端连接有二极管D5,二极管D5的阴极和电感L1连接,电容C4和二极管D5的阳极连接后连接在滤波电容C3的另一端。
7.根据权利要求1所述的高压脉冲电源装置,其特征在于,脉冲放电回路(4)和Buck变换电路(3)之间还设有RCD保护电路(5),所述RCD保护电路(5)包括依次连接的二极管D7和吸收电容C6,二极管D7的两端并联有电阻R1。
8.根据权利要求1所述的高压脉冲电源装置,其特征在于,所述PWM驱动电路包括电源电路和控制电路,所述电源电路包括和直流输入电源依次连接的滤波电路(6)和DC/DC隔离转化模块(7),DC/DC隔离转化模块(7)输出端输出正负两组电源;所述控制电路包括和外部驱动信号电性连接的光电转化器(8),光电转化器(8)的输出侧连接有通过推挽电路,推挽电路的输出端连接半导体开关Q1或Q2的栅极。