1.一种新型脉冲等离子电源,其特征在于,包括依次连接的整流电路、滤波电路、Buck调压电路、脉冲电路,脉冲电路的输出端和脉冲变压器T1连接。
2.根据权利要求1所述的新型脉冲等离子电源,其特征在于,所述整流电路为由四个二极管构成的全桥整流电路。
3.根据权利要求1所述的新型脉冲等离子电源,其特征在于,所述滤波电路包括电感L1和电容C1, 电感L1和电容C1组成LC滤波电路。
4.根据权利要求1所述的新型脉冲等离子电源,其特征在于,所述Buck调压电路包括半导体开关G1,半导体开关G1的集电极连接在滤波电容C3的一端,半导体开关G1的发射极依次连接有电感L2、电容C2,在电感L2、电容C2的两端连接有二极管D1,二极管D1的阴极和电感L2连接,电容C2和二极管D1的阳极连接后连接在滤波电容C1的另一端。
5.根据权利要求1所述的新型脉冲等离子电源,其特征在于,所述脉冲电路包括电感L3、半导体开关G2,半导体开关G2的两端并联有RCD保护电路。
6.根据权利要求5所述的新型脉冲等离子电源,其特征在于,所述RCD保护电路包括依次连接的二极管D3和吸收电容C4,二极管D3的两端并联有电阻R1。
7.根据权利要求1所述的新型脉冲等离子电源,其特征在于,脉冲电路和脉冲变压器T1之间还设有谐振电容C3。
8.根据权利要求4或5所述的新型脉冲等离子电源,其特征在于,所述半导体开关G1或半导体开关G2为IGBT模块。