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专利号: 2022222960785
申请人: 黄忠燕
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
专利领域: 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕
更新日期:2024-02-23
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种高密封性能真空镀膜机,包括底座(4)和真空罩(1),其特征在于,所述真空罩(1)固定安装在底座(4)的上表面;

所述真空罩(1)内部包括内仓(19),所述内仓(19)内部固定安装有电机(6),所述电机(6)一端连接有电机轴(8),所述电机轴(8)一端固定连接有第二夹持板(10),所述第二夹持板(10)下表面固定连接有若干伸缩筒(17),所述伸缩筒(17)内部开设有伸缩腔,所述伸缩腔内部安装有牵拉弹簧(16),所述牵拉弹簧(16)一端设置有伸缩柱(15),所述伸缩柱(15)与伸缩筒(17)滑动配合,所述伸缩柱(15)一端固定连接有第一夹持板(18),所述第一夹持板(18)与第二夹持板(10)之间放置有工件(9)。

2.根据权利要求1所述的一种高密封性能真空镀膜机,其特征在于:所述真空罩(1)上表面设置有出气阀(2),所述出气阀(2)一端穿过内仓(19)与真空罩(1)内部相连通。

3.根据权利要求1所述的一种高密封性能真空镀膜机,其特征在于:所述底座(4)内部设置有真空泵(11),所述真空泵(11)一端连接有抽气管(7),所述抽气管(7)一端与真空罩(1)内部相连通。

4.根据权利要求1所述的一种高密封性能真空镀膜机,其特征在于:所述真空罩(1)内部安装有坩埚蒸发源(14),所述坩埚蒸发源(14)一端位于工件(9)的下方。

5.根据权利要求4所述的一种高密封性能真空镀膜机,其特征在于,所述坩埚蒸发源(14)下表面设置有输出腔(12),所述输出腔(12)一端连接有坩埚蒸发装置(13),所述坩埚蒸发装置(13)安装在底座(4)的内部。

6.根据权利要求5所述的一种高密封性能真空镀膜机,其特征在于,所述底座(4)上表面设置有操控装置(5),所述操控装置(5)与坩埚蒸发装置(13)电性连接,所述真空罩(1)一表面设置有密封门(3)。