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专利号: 2022223370535
申请人: 昆山富鑫铨精密机械有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
专利领域: 磨削;抛光
更新日期:2025-01-08
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种半导体加工用夹持设备,包括箱体(1),其特征在于:所述箱体(1)上固定连接有安装架(2),所述安装架(2)上设置有打磨设备(3),所述箱体(1)的内部设置有打磨设备(3),所述箱体(1)上固定连接有支撑柱(4),所述支撑柱(4)上通过轴承连接有底座(41),所述箱体(1)上固定连接有支撑块(42),所述支撑块(42)与底座(41)接触,所述支撑块(42)上固定连接有滑块(43),所述底座(41)上开设有环槽(44),所述环槽(44)的内部滑动连接有滑块(43),所述底座(41)上固定连接有安装板(5),所述安装板(5)上接触有气缸(51),所述气缸(51)的输出端接触有夹板(52),所述夹板(52)与底座(41)接触,所述夹板(52)上固定连接有连接套(53),所述连接套(53)的内部通过螺钉与气缸(51)的输出端固定连接,所述安装板(5)上设置有拆卸机构(6),所述箱体(1)上设置有调节机构(7)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体加工用夹持设备,其特征在于:所述拆卸机构(6)包括螺纹杆(61)、挡板(62)、旋钮(63)、连接块(64)、固定架(65)、固定块(66),所述安装板(5)的内部转动连接有螺纹杆(61),所述安装板(5)的内部滑动连接有连接块(64),所述螺纹杆(61)上设置有正反螺纹,所述连接块(64)与螺纹杆(61)通过螺纹连接,所述连接块(64)的一端固定连接有固定架(65),所述固定架(65)与安装板(5)接触,所述气缸(51)上固定连接有固定块(66)。

3.根据权利要求2所述的一种半导体加工用夹持设备,其特征在于:所述螺纹杆(61)上固定连接有挡板(62),所述挡板(62)与安装板(5)接触。

4.根据权利要求2所述的一种半导体加工用夹持设备,其特征在于:所述螺纹杆(61)上固定连接有旋钮(63),所述旋钮(63)与安装板(5)接触。

5.根据权利要求2所述的一种半导体加工用夹持设备,其特征在于:所述固定块(66)与安装板(5)接触,所述固定块(66)的内部滑动连接有固定架(65)。

6.根据权利要求1所述的一种半导体加工用夹持设备,其特征在于:所述调节机构(7)包括限位槽(71)、限位块(72)、限位架(73)、卡槽(74)、限位杆(75)、限位环(76)、弹簧(77)、推板(78),所述箱体(1)上开设有限位槽(71),所述限位槽(71)的内部滑动连接有限位块(72),所述限位块(72)上固定连接有限位架(73),所述限位架(73)与箱体(1)接触,限位限位架(73)与底座(41)接触,所述底座(41)上开设有卡槽(74),所述卡槽(74)的内部滑动连接有限位架(73),限位块(72)上固定连接有限位杆(75),所述箱体(1)上固定连接有限位环(76),所述限位环(76)的内部滑动连接有限位杆(75),所述箱体(1)的内部滑动连接有限位杆(75),所述箱体(1)的内部设置有弹簧(77),所述弹簧(77)的一端与箱体(1)接触,所述弹簧(77)的另一端与限位杆(75)接触,所述限位块(72)的一端固定连接有推板(78),所述推板(78)与箱体(1)接触。