1.一种半导体腔室的固定组件，包括腔室(1)、限位机构(4)、夹持机构(5),其特征在于：所述腔室(1)的上端固定连接有固定板(2)，所述固定板(2)的上端固定连接有挡板(3),所述挡板(3)上设置有限位机构(4),所述限位机构(4)包括卡槽(41)、拉杆(42)、限位块(43)、定位块(44)、弹簧(45)，所述挡板(3)上设置有夹持机构(5)，所述夹持机构(5)包括螺纹杆(51)、旋钮(52)、把手(53)、轴承(54)、夹块(55)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体腔室的固定组件，其特征在于：所述挡板(3)上开设有卡槽(41)，所述卡槽(41)内卡接有拉杆(42)，所述拉杆(42)上固定连接有限位块(43)，所述拉杆(42)上滑动连接有定位块(44)，所述拉杆(42)的外侧设置有弹簧(45)。

3.根据权利要求1所述的一种半导体腔室的固定组件，其特征在于：所述挡板(3)内通过螺纹连接有螺纹杆(51)，所述螺纹杆(51)上固定连接有轴承(54)，所述轴承(54)上固定连接有夹块(55)，所述螺纹杆(51)上固定连接有旋钮(52)，所述旋钮(52)上固定连接有把手(53)。

4.根据权利要求1所述的一种半导体腔室的固定组件，其特征在于：所述弹簧(45)的一端固定连接于限位块(43)上，所述弹簧(45)的另一端固定连接于定位块(44)上。

5.根据权利要求1所述的一种半导体腔室的固定组件，其特征在于：所述固定板(2)的数量有四个，四个所述固定板(2)固定连接于腔室(1)的上端。

6.根据权利要求1所述的一种半导体腔室的固定组件，其特征在于：所述定位块(44)的数量有四个，四个所述定位块(44)固定连接于螺纹杆(51)上。