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专利号: 2022227695057
申请人: 安徽新芯威半导体有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
专利领域: 清洁
更新日期:2024-06-24
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种清洗效率高的晶圆清洗装置,包括清洗台(1),所述清洗台(1)上安装有旋转轴(2),所述旋转轴(2)顶端固定有圆台(41),所述圆台(41)边缘安装有若干支撑板(411),所述支撑板(411)上远离旋转轴(2)的一侧均设置有限位块(442),所述支撑板(411)用于支撑晶圆(6),所述限位块(442)用于夹持晶圆(6),所述旋转轴(2)具有升降功能,用于带动圆台(41)旋转和升降,所述清洗台(1)上还固定有喷水管(5),其特征在于:所述支撑板(411)与圆台(41)滑动连接,使支撑板(411)能够在靠近和远离旋转轴(2)的方向上移动,所述支撑板(411)下侧固定有延伸板(443),所述清洗台(1)上设置有凸台(33)和限位槽(32),所述凸台(33)和限位槽(32)高度不同,所述凸台(33)位于延伸板(443)靠近旋转轴(2)的一侧,所述限位槽(32)位于延伸板(443)远离旋转轴(2)的一侧,所述支撑板(411)与圆台(41)之间固定有弹性件(45)。

2.根据权利要求1所述的一种清洗效率高的晶圆清洗装置,其特征在于:所述延伸板(443)靠近旋转轴(2)的一侧转动连接有第一滚轮(444),用于避免延伸板(443)和凸台(33)之间磨损。

3.根据权利要求1所述的一种清洗效率高的晶圆清洗装置,其特征在于:所述延伸板(443)远离旋转轴(2)的一侧转动连接有第二滚轮(445),用于避免延伸板(443)和限位槽(32)之间磨损。

4.根据权利要求1所述的一种清洗效率高的晶圆清洗装置,其特征在于:所述凸台(33)边缘为斜面,用于让延伸板(443)平稳移动。

5.根据权利要求1所述的一种清洗效率高的晶圆清洗装置,其特征在于:所述支撑板(411)设置有至少六个,用于让单个限位块(442)失去对晶圆(6)的夹持时,其余支撑板(411)仍能将晶圆(6)夹持固定。

6.根据权利要求1所述的一种清洗效率高的晶圆清洗装置,其特征在于:所述限位槽(32)中间固定有轴套(31),所述凸台(33)设置于轴套(31)上。