1.气体质量流量控制器校验装置,其特征在于:包括:
检测管(1),所述检测管(1)的内部安装有用于检测气体流量的检测探头(2),所述检测管(1)的一端固定设置有连接盘(3),所述连接盘(3)的中部开设有与检测管(1)内腔连通的锥形孔(4);
进气筒(5),所述进气筒(5)位于连接盘(3)的一侧,所述进气筒(5)的开口端固定设置有固定盘(6),所述固定盘(6)的边缘开设有导流孔(8),所述固定盘(6)的中部固定设置有与锥形孔(4)相适配的密封台(7),所述连接盘(3)的外侧和进气筒(5)的端部外侧均通过螺纹套接有密封外壳(9),两个所述密封外壳(9)之间通过螺栓固定连接;
刻度表(10),所述刻度表(10)开设于一个密封外壳(9)的侧面;及
排气套管(11),所述排气套管(11)滑动套接于检测管(1)的外侧,所述排气套管(11)的外侧活动套接有转动环(12),所述转动环(12)的表面开设有刻度指针(13)。
2.根据权利要求1所述的气体质量流量控制器校验装置,其特征在于:所述导流孔(8)设置有多个,多个所述导流孔(8)呈环形阵列分布。
3.根据权利要求2所述的气体质量流量控制器校验装置,其特征在于:所述刻度指针(13)正对刻度表(10),所述转动环(12)的表面螺接有紧固旋钮(14)。
4.根据权利要求3所述的气体质量流量控制器校验装置,其特征在于:所述连接盘(3)和进气筒(5)之间设置有弹性密封环(15),所述弹性密封环(15)的两端分别固定连接盘(3)的边缘和进气筒(5)的端部边缘。
5.根据权利要求4所述的气体质量流量控制器校验装置,其特征在于:所述进气筒(5)的侧面固定设置有与之内腔相连通的进气管(16),所述进气管(16)的外侧滑动套接有进气套管(17)。
6.根据权利要求5所述的气体质量流量控制器校验装置,其特征在于:所述进气管(16)的外侧壁和检测管(1)的外侧壁均设置为正多边形,所述进气管(16)的外侧壁、检测管(1)的外侧壁和锥形孔(4)的内侧壁均粘接有用于密封的橡胶垫。
7.根据权利要求6所述的气体质量流量控制器校验装置,其特征在于:所述连接盘(3)表面的螺纹旋向与进气筒(5)表面的螺纹旋向相反,两个所述密封外壳(9)相互靠近的一端内壁均设置有内凸缘。