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专利号: 2023100215892
申请人: 常州大学怀德学院
专利类型:发明专利
专利状态:授权未缴费
专利领域: 测量;测试
更新日期:2023-11-13
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种用于深宽比刻蚀的MEMS压力传感器,包括封装壳(1),其特征在于,所述封装壳(1)的一侧外壁开设有固定孔,所述固定孔固定有检测筒(4),还包括:

转换机构(3),所述转换机构(3)设置在封装壳(1)内,所述转换机构(3)包括转动盘(301)、从动盘(304)以及多个检测柱(306),所述封装壳(1)外壁开设有槽口,所述转动盘(301)转动安装在槽口内,所述从动盘(304)转动安装在封装壳(1)的内壁上,所述转动盘(301)和从动盘(304)之间设置有多个用于两者的连接件(302),所述转动盘(301)的圆面开设有多个第一圆孔,所述从动盘(304)的圆面上开设有多个第二圆孔,各个所述第一圆孔与各个所述第二圆孔一对一对齐,各个所述检测柱(306)均匀设置各个第一圆孔内,所述检测柱(306)为中空结构,所述检测柱(306)内开设有空腔,所述空腔内安装有量程敏感膜片(317),所述第一圆孔内开设有多个第一导向槽,所述检测柱(306)外侧壁设有多个与其一体结构的第一导向条(308),各个所述第一导向条(308)均匀设置在各个第一导向槽内,所述检测柱(306)上设置有复位组件,所述复位组件位于转动盘(301)和从动盘(304)之间;

推动组件(6),所述推动组件(6)设置在封装壳(1)内,所述推动组件(6)包括第二固定板(602),所述第二固定板(602)的两端均固定在封装壳(1)内,所述第二固定板(602)的外侧壁开设有通孔,所述通孔滑动设置有推动杆(601),所述封装壳(1)的两侧外壁卷开设有两个转动孔,所述转动孔内通过轴承转动安装有转动杆(605),两个所述转动杆(605)固定有一个曲轴(604),所述曲轴(604)和推动杆(601)之间设置有连杆(603),所述连杆(603)的两端分别与曲轴(604)和推动杆(601)形成转动配合;

所述推动杆(601)与检测筒(4)同轴设置;

其中一个所述转动杆(605)上套设有转动板(606),所述转动杆(605)上设有多个与其一体结构的第二导向条(609),所述转动板(606)开设有第二导向槽,所述第二导向条(609)滑动安装在第二导向槽内,所述转动杆(605)的一端固定有限位板(610),所述转动杆(605)套设有第三弹簧(608),所述第三弹簧(608)的两端分别与限位板(610)和转动板(606)相接触,所述转动板(606)上开设有定位孔(607),所述封装壳(1)上固定有与定位孔(607)适配的锁定杆;

所述推动组件(6)用于将对齐后的检测柱(306)推入检测筒(4)内;

各个量程敏感膜片(317) 的规格不一致。

2.如权利要求1所述的一种用于深宽比刻蚀的MEMS压力传感器,其特征在于,所述量程敏感膜片(317)朝向检测筒(4)的一侧设置有硅胶(318)。

3.如权利要求1所述的一种用于深宽比刻蚀的MEMS压力传感器,其特征在于,所述检测柱(306)的一端为圆锥端(310),所述检测筒(4)内设有与圆锥端(310)设配的内圆锥面。

4.如权利要求3所述的一种用于深宽比刻蚀的MEMS压力传感器,其特征在于,所述检测柱(306)的圆锥端(310)上设置有与其一体结构且同轴设置的卡环(311),所述检测筒(4)内开设与其同轴设置的圆环槽,所述圆环槽与卡环(311)相适配,所述圆环槽内设置有O形圈(9)。

5.如权利要求1所述的一种用于深宽比刻蚀的MEMS压力传感器,其特征在于,所述封装壳(1)内设置有定位机构(303),所述定位机构(303)包括定位杆(313)、第二弹簧(316)和两个第一固定板(314),两个所述第一固定板(314)呈上下分布固定在封装壳(1)的一侧内壁上,两个所述第一固定板(314)开设有滑孔,所述定位杆(313)设置在滑孔内,所述定位杆(313)的固定有与其同轴设置有限位环(315),所述第二弹簧(316)套设在定位杆(313)上,所述第二弹簧(316)的两端分别与限位环(315)和位于底部的第一固定板(314)相接触,所述从动盘(304)的外侧壁开设有多个半球槽(312),各个所述半球槽(312)与各个第二圆孔一对一对齐,所述定位杆(313)的顶部为圆顶结构。

6.如权利要求1所述的一种用于深宽比刻蚀的MEMS压力传感器,其特征在于,所述复位组件包括多个定位筒(305)、多个固定环(309)以及第一弹簧(307),所述定位筒(305)固定在从动盘(304)上,各个所述定位筒(305)与各个第二圆孔一对一同轴设置,所述定位筒(305)套设在检测柱(306)上,所述第一弹簧(307)套设在检测柱(306)上,所述第一弹簧(307)的两端分别与定位筒(305)和转动盘(301)相接触。

7.如权利要求1所述的一种用于深宽比刻蚀的MEMS压力传感器,其特征在于,所述封装壳(1)内设置有电路板(5),所述电路板(5)上设置有芯片(8)、金属引脚(7)和数据接受端(2),所述金属引脚(7)和数据接受端(2)均设置在封装壳(1)外。