欢迎来到知嘟嘟! 联系电话:13095918853 卖家免费入驻,海量在线求购! 卖家免费入驻,海量在线求购!
知嘟嘟
我要发布
联系电话:13095918853
知嘟嘟经纪人
收藏
专利号: 2023113942895
申请人: 海安明光光学玻璃科技有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:授权未缴费
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2024-04-07
缴费截止日期: 暂无
价格&联系人
年费信息
委托购买

摘要:

权利要求书:

1.一种晶圆载片台,其特征在于,包括:底座(1);所述底座(1)顶部固定连接有立架(101),底座(1)侧面螺纹连接有螺纹杆(102),螺纹杆(102)底部固定连接有手轮,螺纹杆(102)顶部转动连接有托板(103),底座(1)顶部固定连接有传送带(104),底座(1)顶部固定连接有电动伸缩杆A(105),电动伸缩杆A(105)伸缩部固定连接有拉架(106),拉架(106)左右两侧底部滑动连接有弹簧楔块A(107);所述立架(101)顶部固定连接有滑台(2),滑台(2)顶部固定连接有电动伸缩杆B(201),电动伸缩杆B(201)伸缩部前端固定连接有推架(202),推架(202)与滑台(2)滑动连接;所述立架(101)前端固定连接有定位仓(3),定位仓(3)左侧开设有装卸槽;所述定位仓(3)内侧设置有更换仓(4),更换仓(4)内侧立面处开设有垂直槽(401),更换仓(4)内侧底部固定连接有支撑弹簧(402),支撑弹簧(402)顶部固定连接有推板(403),推板(403)外侧固定连接有滑块(404),滑块(404)与垂直槽(401)滑动连接,支撑弹簧(402)顶部固定连接有推板(403);定位仓(3)顶部前端固定连接有加热载台(6),加热载台(6)顶部固定连接有电热环台(601);加热载台(6)内侧固定连接有电动伸缩杆D(602),电动伸缩杆D(602)伸缩部顶部固定连接有电热台(603),电热环台(601)与电热台(603)滑动连接;控制电动伸缩杆D(602)运转,可以使其伸缩部带动电热台(603)向上平移,可以使电热台(603)向上插入半圆孔(703),可以对储片壳(7)内侧的晶圆进行托起,通过程序控制电动伸缩杆C(5)运转,可以使其伸缩部带动左右两侧往复丝杠(501)向下平移,可以使其带动开架(502)底部的固定楔块(503)插入顶楔槽,通过控制往复丝杠(501)运转,可以使其带动开架(502)向左右两侧平移,可以将左右两侧的储片壳(7)向左右两侧分开。

2.如权利要求1所述一种晶圆载片台,其特征在于:所述更换仓(4)顶部固定连接有顶座(405),顶座(405)内侧滑动连接有弹簧楔块B(406)。

3.如权利要求1所述一种晶圆载片台,其特征在于:所述定位仓(3)前端立面处固定连接有电动伸缩杆C(5),电动伸缩杆C(5)伸缩部的顶部左右两侧固定连接有往复丝杠(501),往复丝杠(501)数量设置为二组。

4.如权利要求3所述一种晶圆载片台,其特征在于:所述往复丝杠(501)的滚珠螺母座顶部固定连接有开架(502),开架(502)底部滑动连接有固定楔块(503)。

5.如权利要求1所述一种晶圆载片台,其特征在于:所述更换仓(4)内侧设置有储片壳(7),储片壳(7)内侧立面处开设有圆孔,圆孔内侧固定连接有拉簧套管(701),每两组储片壳(7)的拉簧套管(701)滑动连接,储片壳(7)内侧设置有储存槽(702)。

6.如权利要求5所述一种晶圆载片台,其特征在于:所述储存槽(702)底部开设有半圆孔(703),储片壳(7)顶部开设有顶楔槽(704),储片壳(7)外侧立面处开设有侧楔槽(705)。