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专利号: 2023200492602
申请人: 上海瞬雷科技有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
专利领域: 清洁
更新日期:2024-02-23
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种IC芯片生产用清洗装置,包括等离子清洗设备(1),其特征在于:所述等离子清洗设备(1)的两侧均铰接有密封门(3),且两个密封门(3)之间均设有触压组件(5),两个触压组件(5)固定连接在等离子清洗设备(1)内腔的背面,且两个触压组件(5)之间通过管道(8)连通,且管道(8)向后延伸的端部与圆柱筒(7)之间连通,所述圆柱筒(7)固定连接在壳体(2)内壁的左侧位置,所述圆柱筒(7)中设有弹性组件(6),所述弹性组件(6)的右端固定连接有插头(4),所述插头(4)与外界插口(9)连接。

2.根据权利要求1所述的一种IC芯片生产用清洗装置,其特征在于:所述插头(4)通过贯穿壳体(2)的线缆与等离子清洗设备(1)之间连接,所述壳体(2)固定连接在等离子清洗设备(1)的背部。

3.根据权利要求1所述的一种IC芯片生产用清洗装置,其特征在于:所述外界插口(9)的线缆穿过壳体(2)向外延伸,且外界插口(9)固定连接在壳体(2)内壁的右侧位置。

4.根据权利要求1所述的一种IC芯片生产用清洗装置,其特征在于:所述触压组件(5)包括储液囊(52),所述储液囊(52)中存储液体,且储液囊(52)与密封门(3)贴合。

5.根据权利要求4所述的一种IC芯片生产用清洗装置,其特征在于:所述储液囊(52)固定连接在连接板(51)上,所述连接板(51)固定连接在等离子清洗设备(1)内腔的背部。

6.根据权利要求1所述的一种IC芯片生产用清洗装置,其特征在于:所述弹性组件(6)包括活塞杆(62),所述活塞杆(62)的右端与插头(4)固定连接,所述活塞杆(62)的左侧与弹簧(61)固定连接,弹簧(61)固定连接在圆柱筒(7)内壁的左侧位置。