1.一种晶圆清洗装置，包括清洗腔(3)，所述清洗腔(3)内设置有超声波发生器(35)和晶圆放置盒(7)，所述晶圆放置盒(7)上设置有夹持机构(8)，所述夹持机构(8)用于对晶圆放置盒(7)进行夹持，其特征在于：所述夹持机构(8)包括夹板(85)，所述夹板(85)上设置有滚柱(87)，所述滚柱(87)用于在晶圆放置盒(7)移动过程中进行导向，所述夹板(85)上设置有固定机构，所述固定机构包括固定杆(81)和固定轴套(82)，所述固定轴套(82)内设置有弹性器件，用于对夹板(85)施加弹力。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗装置，其特征在于：所述夹持机构(8)的数量至少为两个，且设置于晶圆放置盒(7)的两侧，用于固定晶圆放置盒(7)。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗装置，其特征在于：所述夹板(85)由柔性材质制成。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗装置，其特征在于：所述清洗腔(3)上设置有滑槽(21)，所述滑槽(21)用于对晶圆放置盒(7)进行导向和限位。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗装置，其特征在于：所述固定轴套(82)上设置有固定腔(83)，所述固定杆(81)设置于清洗腔(3)上，所述固定杆(81)伸入固定腔(83)的部分设置有凸起，所述固定轴套(82)靠近固定杆(81)的一侧设置有挡块(84)，所述凸起和挡块(84)配合连接，对夹持机构(8)的夹持范围进行限位。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗装置，其特征在于：所述超声波发生器(35)上连接有伸缩杆(34)，所述伸缩杆(34)用于移动超声波发生器(35)的位置。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆清洗装置，其特征在于：所述伸缩杆(34)上设置有电机(32)，所述电机(32)用于带动超声波发生器(35)旋转。

8.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗装置，其特征在于：所述夹板(85)呈V字型，且开口方向为晶圆放置盒(7)所在方向，所述夹板(85)与固定轴套(82)铰接。