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专利号: 2023203838481
申请人: 宁波锦越新材料有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
专利领域: 清洁
更新日期:2025-02-25
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种高纯铝靶材支撑台,其特征在于:包括工作台(1)、支撑盘(2)以及移动盘(3),所述工作台(1)上开设有槽口(11),所述移动盘(3)上下滑动连接于所述槽口(11)上,所述支撑盘(2)与所述移动盘(3)之间设置有转动组件(4),在外力作用下以使所述支撑盘(2)自由旋转,所述工作台(1)上设置有动力组件,所述动力组件用于带动所述移动盘(3)上下移动,所述支撑盘(2)上可拆卸连接有多个硅胶件(6),所述工作台(1)上设置有多个与所述移动盘(3)对应的按键(12),所述按键(12)与所述动力组件电性连接。

2.根据权利要求1所述 的一种高纯铝靶材支撑台,其特征在于:所述硅胶件(6)上开设有沉孔(61),所述支撑盘(2)上开设有螺纹孔,所述硅胶件(6)与所述支撑盘(2)之间通过螺栓连接,多个所述硅胶件(6)沿所述支撑盘(2)中心轴线周向均匀分布。

3.根据权利要求2所述的一种高纯铝靶材支撑台,其特征在于:所述硅胶件(6)至少四个。

4.根据权利要求1所述的一种高纯铝靶材支撑台,其特征在于:所述槽口(11)处固定连接有多个滑轨(13),所述滑轨(13)沿所述移动盘(3)中心轴线周向均匀分布,所述移动盘(3)上固定连接有多个与所述滑轨(13)对应的滑块(31),所述滑块(31)滑动连接于对应的所述滑轨(13)上。

5.根据权利要求4所述的一种高纯铝靶材支撑台,其特征在于:所述移动盘(3)上开设有多个与所述滑轨(13)对应的滑槽(32)。

6.根据权利要求1所述的一种高纯铝靶材支撑台,其特征在于:所述转动组件(4)包括转动杆(41)以及套管(42),所述转动杆(41)的一端与所述支撑盘(2)固定连接,所述转动杆(41)的另一端与所述移动盘(3)转动连接,所述套管(42)与所述移动盘(3)固定连接,并且所述转动杆(41)伸入所述套管(42)内,所述套管(42)与所述转动杆(41)之间设置有轴承(43)。

7.根据权利要求6所述的一种高纯铝靶材支撑台,其特征在于:所述套管(42)顶部套设有橡胶套(44)。

8.根据权利要求1所述的一种高纯铝靶材支撑台,其特征在于:所述动力组件包括推动气缸(5),所述推动气缸(5)固定连接于所述工作台(1)内,并且所述推动气缸(5)的输出端与所述移动盘(3)的底部固定连接。