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专利号: 2023204460795
专利类型:实用新型
专利状态:未下证
专利领域: 暂无
更新日期:2024-02-18
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种半导体加工用夹持机构,包括底板(1);

固定安装在所述底板(1)底部的支撑腿(2);

以及包括设置在底板(1)上方的调节夹持机构(3),其特征在于:所述底板(1)顶部开设有滑槽,所述调节夹持机构(3)包括安装在该滑槽上方的调节定位机构(31),所述调节定位机构(31)上方安装有夹持机构(32),所述调节定位机构(31)包括滑动连接在滑槽内壁的滑块(311),所述滑块(311)顶部固定连接有移动板(312),所述移动板(312)外壁固定连接有把手(313),所述移动板(312)顶部开设有定位孔(314),所述定位孔(314)内壁卡合连接有定位柱(315),所述定位柱(315)远离定位孔(314)一端固定连接有连接板(316),所述连接板(316)远离定位柱(315)一端固定连接有环板(317),所述环板(317)底部固定连接有弹簧(318),所述弹簧(318)远离环板(317)一端固定连接有支撑板(319),所述支撑板(319)外壁开设有通槽,该通槽内壁开设有滑孔,该滑孔内壁与第一滑杆(3110)外壁滑动连接,所述环板(317)一端固定连接有提拉板(3111)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体加工用夹持机构,其特征在于:所述夹持机构(32)包括固定连接在移动板(312)顶部的固定板(321),所述固定板(321)外壁固定连接有电机(322),所述电机(322)输出端固定连接有双向螺纹杆(323),所述双向螺纹杆(323)外壁螺纹连接有螺纹滑块(324),所述螺纹滑块(324)底部外壁开设有滑槽,该滑槽内壁滑动连接有第二滑杆(325),所述第二滑杆(325)两端固定连接在凹槽内壁,所述螺纹滑块(324)顶端外壁固定连接有夹持板(326)。

3.根据权利要求1所述的一种半导体加工用夹持机构,其特征在于:所述提拉板(3111)外壁开设有凹槽,所述第一滑杆(3110)外壁与通槽内壁开设的滑孔内壁相适配。

4.根据权利要求2所述的一种半导体加工用夹持机构,其特征在于:所述夹持板(326)数量为两个,所述夹持板(326)呈对称结构分布在移动板(312)上方。

5.根据权利要求1所述的一种半导体加工用夹持机构,其特征在于:所述定位孔(314)数量为若干个,所述定位孔(314)均匀的分布在移动板(312)顶部。

6.根据权利要求2所述的一种半导体加工用夹持机构,其特征在于:所述螺纹滑块(324)底端外壁开设的滑槽内壁与第二滑杆(325)外壁相适配。