1.一种晶圆加工腔室，包括主筒(1)，其特征在于：所述主筒(1)的上端固定连接有顶板(2)，顶板(2)的底面转动连接有转动杆(3)，转动杆(3)贯穿顶板(2)，转动杆(3)的外表面固定安装有多个呈圆周布置的叶片(4)，顶板(2)的底面安装有多个呈圆周布置的卤素灯(5)，主筒(1)的内壁安装有玻璃板(6)，玻璃板(6)的上表面安装有多个温度感应器(7)，主筒(1)的底端固定连接有底板(8)，底板(8)的底面转动连接有转动轴(9)，转动轴(9)贯穿底板(8)，转动轴(9)的顶端固定连接有承接盘(10)，底板(8)的上表面安装有三个呈圆周布置的转动柱(11)，每个转动柱(11)的上端均固定连接有连接板(12)，每个连接板(12)的底面均安装有喷头(13)，每个喷头(13)均与外接泵机的输出端相连通。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆加工腔室，其特征在于：所述顶板(2)的上方放置有第一电机(14)，第一电机(14)的输出端与转动杆(3)固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆加工腔室，其特征在于：所述顶板(2)的上表面固定连接有多个第一连接杆(15)，每个第一连接杆(15)的另一端均与第一电机(14)固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆加工腔室，其特征在于：所述底板(8)的底面放置有第二电机(16)，第二电机(16)的输出端与转动轴(9)固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆加工腔室，其特征在于：所述底板(8)的底面固定连接有多个第二连接杆(17)，每个第二连接杆(17)的另一端均与第二电机(16)固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆加工腔室，其特征在于：所述主筒(1)的外表面开设有多个出气口(18)，每个出气口(18)的位置均位于玻璃板(6)的上方。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆加工腔室，其特征在于：所述底板(8)的下方放置有多个支撑柱(19)，每个支撑柱(19)的另一端均与底板(8)固定连接。