1.一种半导体晶圆检测装置,包括检测仪(1),所述检测仪(1)由底座(101)、放置台(102)和检测组件(103)组成,所述底座(101)的顶部与放置台(102)的底部固定连接,所述检测组件(103)位于放置台(102)的顶部且与底座(101)滑动连接,其特征在于:所述底座(101)顶部的左侧和右侧均固定连接有固定块(2),左侧所述固定块(2)的内部开设有空腔(3),所述空腔(3)的内部设置有活动组件(4),所述活动组件(4)的右侧配合使用有两个插接块(5),两个插接块(5)的相对端固定连接有夹持块(6),用于固定晶圆,两个插接块(5)的顶部均设置有卡紧组件(7)。
2.如权利要求1所述的一种半导体晶圆检测装置,其特征在于:所述活动组件(4)包括两个活动块(401),两个活动块(401)的表面均与空腔(3)的内部活动连接,两个活动块(401)的左侧固定连接有拉块(402),所述拉块(402)的左侧固定连接有复位弹簧(403),所述复位弹簧(403)的左侧与空腔(3)内壁的左侧固定连接,两个活动块(401)的右侧均与两个插接块(5)的内部插接连接。
3.如权利要求2所述的一种半导体晶圆检测装置,其特征在于:前侧所述卡紧组件(7)包括凸块(701),前侧所述插接块(5)的顶部与凸块(701)的底部固定连接,所述凸块(701)的内部开设有活动槽(702),所述活动槽(702)的内部活动连接有卡紧块(703)且与活动块(401)配合使用,所述卡紧块(703)的顶部固定连接有把手(704)。
4.如权利要求3所述的一种半导体晶圆检测装置,其特征在于:所述卡紧块(703)的内部滑动连接有限位板(8),所述限位板(8)的左侧和右侧分别与活动槽(702)内壁左侧和右侧固定连接,所述限位板(8)的底部固定连接有弹力弹簧(9),所述弹力弹簧(9)靠近卡紧块(703)的一侧与卡紧块(703)固定连接。
5.如权利要求3所述的一种半导体晶圆检测装置,其特征在于:所述卡紧块(703)的底部通过活动槽(702)依次贯穿凸块(701)、插接块(5)和活动块(401)且延伸至活动块(401)的内部。
6.如权利要求3所述的一种半导体晶圆检测装置,其特征在于:所述卡紧块(703)的底部与活动块(401)的内部紧密接触,用于卡紧块(703)与活动块(401)插接连接后,两个插接块(5)带动夹持块(6)与两个活动块(401)的固定效果更加牢固。
7.如权利要求1所述的一种半导体晶圆检测装置,其特征在于:所述夹持块(6)为可更换式,根据不同大小的晶圆更换相匹配的夹持块(6)。