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专利号: 2023211370219
专利类型:实用新型
专利状态:授权未缴费
专利领域: 暂无
更新日期:2023-09-07
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种电子芯片晶圆研磨装置,包括底座主体(1),其特征在于:所述底座主体(1)的上端面靠后侧固定连接有研磨机构(2);

所述底座主体(1)包括底座外壳(101),所述底座外壳(101)的内部靠后侧中间处开设有放置孔(102),所述放置孔(102)的上端面活动连接有研磨箱(103),所述研磨箱(103)的表面两侧靠上端均固定连接有固定块(104),所述研磨箱(103)的内底面中间处贯穿设置有阻挡圆板(105),所述研磨箱(103)的下端靠中间处开设有圆形滑孔(108),所述阻挡圆板(105)的下端面中间处固定连接有固定连杆(109);

所述固定连杆(109)的一侧下端面固定连接有连接孔(110),所述底座外壳(101)的内部靠另一侧后端上侧开设有孔洞(114),所述孔洞(114)内底面固定连接有水泵(115),所述底座外壳(101)的一侧靠前端下侧贯穿设置有过滤箱(116),所述过滤箱(116)的内部前后两侧靠上端均固定连接有斜板(117),两个所述斜板(117)的之间上端活动连接有过滤板(118);

所述研磨机构(2)包括两个支撑板(201),两个所述支撑板(201)相对的一侧上端固定连接有顶板(202),所述顶板(202)的下端面中间处转动连接有电动伸缩杆(203),所述电动伸缩杆(203)的下端面固定连接有研磨头(204),两个所述支撑板(201)其中一个的内部靠下端固定连接有转动孔(205),所述转动孔(205)的内部中间处转动连接有固定杆(206),两个所述支撑板(201)的其中一个的一侧中间处靠上端固定连接有固定卡块(211),所述研磨头(204)与研磨箱(103)活动连接。

2.根据权利要求1所述的一种电子芯片晶圆研磨装置,其特征在于:所述阻挡圆板(105)的表面上端固定连接有密封圆板(106),所述研磨箱(103)的下端面靠两侧处均固定连接有一号弹簧(107)。

3.根据权利要求1所述的一种电子芯片晶圆研磨装置,其特征在于:所述固定连杆(109)的表面靠上端贯穿设置有连接圆块(111),所述连接圆块(111)的上端靠周围处固定连接有圆形滑块(112),所述圆形滑块(112)与圆形滑孔(108)卡接设置,所述连接圆块(111)的前端中间处靠下端贯穿设置有连接管(113),所述连接管(113)的前端与过滤箱(116)的上端面活动连接,所述水泵(115)吸水口固定的管道贯穿过滤板(118)与过滤箱(116)内底面活动连接。

4.根据权利要求1所述的一种电子芯片晶圆研磨装置,其特征在于:所述底座外壳(101)的一侧靠后端中间处贯穿设置有滑杆(119),所述滑杆(119)的一端固定连接有圆锥头(120),所述圆锥头(120)与连接孔(110)卡接连接。

5.根据权利要求1所述的一种电子芯片晶圆研磨装置,其特征在于:所述固定杆(206)的表面靠下端贯穿设置有固定板(207),所述固定板(207)的下端固定连接有二号弹簧(208)。

6.根据权利要求1所述的一种电子芯片晶圆研磨装置,其特征在于:所述固定杆(206)的表面靠上端缠绕设置有软管(209),所述软管(209)的一端贯穿支撑板(201)固定连接有水枪头(210),所述固定卡块(211)卡接设置有水枪头(210),所述软管(209)的另一端与水泵(115)固定连接。

7.根据权利要求1所述的一种电子芯片晶圆研磨装置,其特征在于:所述顶板(202)的上端面中间处固定连接有电机(212),所述电机(212)的输出端贯穿顶板(202)与电动伸缩杆(203)固定连接。