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专利号: 2023214387809
申请人: 百格通(成都)集成电路有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2024-02-23
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种半导体测试用底座,包括支撑座(1)、测试座(11)、用于改变测试座(11)角度的调节部件、用于控制测试座(11)横向位置的横向移动部件以及用于控制测试座(11)纵向位置的纵向移动部件,其特征在于:所述调节部件包括与支撑座(1)内一侧转动连接的第一转轴(21)、与支撑座(1)内另一侧转动连接的第二转轴(22)、与第一转轴(21)和第二转轴(22)固定连接的支撑台(23)、与第一转轴(21)外侧固定连接的蜗轮(24)、与蜗轮(24)相连的蜗杆(25)、分别与蜗杆(25)两端相连的连接板(26)以及与蜗杆(25)一端相连的第一电机(27),所述蜗杆(25)与蜗轮(24)啮合,所述连接板(26)与支撑座(1)固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种半导体测试用底座,其特征在于:所述横向移动部件包括开设于支撑台(23)顶部的第一移动槽(31)、滑动设于第一移动槽(31)内的第一移动块(32)、与第一移动块(32)相连的第一螺杆(33)、开设于支撑台(23)顶部一侧的安装口(34)以及与第一螺杆(33)一端相连的第二电机(35),所述第一螺杆(33)贯穿第一移动块(32)且与第一移动块(32)螺接,所述第一螺杆(33)与支撑台(23)转动连接,所述第二电机(35)安装在安装口(34)内。

3.根据权利要求1所述的一种半导体测试用底座,其特征在于:所述纵向移动部件包括与第一移动块(32)顶部固定连接的支撑板(41)、开设于支撑板(41)顶部的第二移动槽(42)、滑动设于第二移动槽(42)内的第二移动块(43)、与第二移动块(43)顶部固定连接的固定板(44)、与第二移动块(43)相连的第二螺杆(45)以及与第二螺杆(45)一端相连的第三电机(46),所述第二螺杆(45)贯穿第二移动块(43)且与第二移动块(43)螺接,所述第二螺杆(45)与支撑板(41)转动连接。

4.根据权利要求3所述的一种半导体测试用底座,其特征在于:所述固定板(44)顶部两侧分别固定连接有电动伸缩杆(441),所述电动伸缩杆(441)顶部与测试座(11)底部固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种半导体测试用底座,其特征在于:所述测试座(11)顶部两侧分别开设有滑槽(51),所述滑槽(51)内滑动连接有滑块(52),所述滑块(52)上设有双向螺杆(53),所述双向螺杆(53)一端设有第四电机(54),所述滑块(52)顶部固定连接有夹持板(55),所述双向螺杆(53)贯穿滑块(52)且与滑块(52)螺接,所述双向螺杆(53)与测试座(11)转动连接。

6.根据权利要求5所述的一种半导体测试用底座,其特征在于:所述夹持板(55)一侧开设有均匀排列的多个滑动口(561),所述滑动口(561)内滑动连接有推杆(562),所述推杆(562)一端固定连接有定位板(563),所述推杆(562)外侧套设有弹簧(564)。

7.根据权利要求5所述的一种半导体测试用底座,其特征在于:所述滑块(52)形状为工形,所述滑槽(51)形状为T形。

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