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专利号: 2023216247742
专利类型:实用新型
专利状态:未下证
专利领域: 暂无
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种半导体生产用镀膜装置,包括底板(1)、支撑腿(2),其特征在于:所述底板(1)上方设置有夹持机构(3),所述夹持机构(3)包括有放置板(301)、连接板(302)、螺纹杆(303)、夹持板(304)、移动板(305),所述放置板(301)顶部与连接板(302)底部固定连接,所述连接板(302)内壁与螺纹杆(303)外壁螺纹连接,所述螺纹杆(303)一端通过轴承与夹持板(304)一侧转动连接,所述夹持板(304)底部与移动板(305)顶部固定连接,所述夹持板(304)另一侧固定安装有防滑板(306);

所述底板(1)上方设置有镀膜机构(4)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体生产用镀膜装置,其特征在于:所述镀膜机构(4)包括有支撑杆(401)、承载板(402)、电动伸缩杆(403)、固定板(404)、连接杆(405),所述支撑杆(401)顶部与承载板(402)底部固定连接,所述承载板(402)底部与电动伸缩杆(403)顶部固定连接,所述电动伸缩杆(403)底部与固定板(404)顶部固定连接,所述固定板(404)底部与连接杆(405)顶部固定连接,所述连接杆(405)一端固定安装有镀膜设备(406)。

3.根据权利要求1所述的一种半导体生产用镀膜装置,其特征在于:所述连接板(302)的数量为两个,所述连接板(302)分别对称分布在放置板(301)顶部,所述螺纹杆(303)的数量为两个,所述螺纹杆(303)依次分布在两个连接板(302)内壁。

4.根据权利要求1所述的一种半导体生产用镀膜装置,其特征在于:所述放置板(301)顶部开设有移动槽,所述移动板(305)底部与移动槽内壁滑动连接,所述移动板(305)的数量为两个,所述移动板(305)分别对称包覆在夹持板(304)底部。

5.根据权利要求1所述的一种半导体生产用镀膜装置,其特征在于:所述夹持板(304)的形状为U形,所述夹持板(304)的数量为两个,所述夹持板(304)分别对称分布在放置板(301)顶部,所述防滑板(306)的数量为两个,所述防滑板(306)分别对称分布在两个夹持板(304)一侧。

6.根据权利要求2所述的一种半导体生产用镀膜装置,其特征在于:所述支撑杆(401)的数量为四个,所述支撑杆(401)分别对称分布在承载板(402)底部,所述固定板(404)的形状为工字形,所述连接杆(405)的形状为L形,所述连接杆(405)分别对称分布在镀膜设备(406)两端。

7.根据权利要求1所述的一种半导体生产用镀膜装置,其特征在于:所述底板(1)底部与支撑腿(2)顶部固定连接,所述底板(1)顶部与放置板(301)底部固定连接,所述底板(1)顶部与支撑杆(401)底部固定连接。