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专利号: 2023217162544
申请人: 安徽领坤生物科技有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
专利领域: 清洁
更新日期:2025-02-26
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种硅片清洗干燥装置,包括箱体(1),其特征在于:所述箱体(1)的内部设置有冲洗组件,所述箱体(1)的顶部固定连接有驱动电机(2),所述驱动电机(2)的输出端固定连接有转轴(3),所述转轴(3)的另一端固定连接有L型板(4),所述L型板(4)的一侧固定连接有双向电动伸缩杆(5),所述双向电动伸缩杆(5)的双向伸缩端均固定连接有固定板(6),两个所述固定板(6)上均设置有夹持组件,所述夹持组件包括固定连接在固定板(6)一侧的电动伸缩杆(7)和导向杆(8),所述电动伸缩杆(7)的伸缩端固定连接有移动杆(9),所述移动杆(9)上固定连接有若干个呈线性阵列状分布的移动板(10),所述导向杆(8)活动贯穿移动板(10),所述导向杆(8)远离固定板(6)的一端固定连接有支撑板(13),所述移动杆(9)活动贯穿支撑板(13),所述导向杆(8)上固定连接有若干个呈线性阵列状分布的夹板(11),所述夹板(11)的一侧固定连接有伸缩板(12)。

2.根据权利要求1所述的一种硅片清洗干燥装置,其特征在于:所述L型板(4)的底部固定连接有伸缩杆(16),所述伸缩杆(16)的另一端与其中一个支撑板(13)的顶部固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种硅片清洗干燥装置,其特征在于:所述移动板(10)和夹板(11)数量一致且一一对应设置。

4.根据权利要求1所述的一种硅片清洗干燥装置,其特征在于:所述伸缩板(12)上开设有凹槽(14),所述凹槽(14)的内部设置有若干个挤压弹簧(15),所述伸缩板(12)的伸缩端与若干个挤压弹簧(15)固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种硅片清洗干燥装置,其特征在于:所述冲洗组件包括固定连接在箱体(1)内壁背面的条形管(17),所述条形管(17)的背面连通有进水管(18),所述进水管(18)固定贯穿箱体(1)并延伸至箱体(1)外部,所述条形管(17)的正面固定连通有若干个喷头(19)。

6.根据权利要求1所述的一种硅片清洗干燥装置,其特征在于:所述箱体(1)的顶部固定连通有气管(20)。

7.根据权利要求1所述的一种硅片清洗干燥装置,其特征在于:所述箱体(1)的底部开设有若干个渗水孔(21)。