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专利号: 2023218445428
专利类型:实用新型
专利状态:未下证
专利领域: 暂无
更新日期:2024-04-18
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种用于半导体晶片切割的夹具,包括底座(1)、激光切割头(5)与半导体晶片(6),底座(1)顶部设置有拱形支架(2),底座(1)顶部设置有切割台(3),切割台(3)顶部设置有放置板(4),其特征在于:还包括用于夹持不同尺寸半导体晶片(6)的夹持组件,所述激光切割头(5)通过调节组件连接在拱形支架(2)顶部,所述半导体晶片(6)通过夹持组件夹紧固定在放置板(4)顶部;

所述夹持组件包括竖直设置的若干电动推杆二(12),若干所述电动推杆二(12)底部呈圆形阵列固定安装在切割台(3)顶部边缘处,所述电动推杆二(12)输出轴的顶端均固定安装有连接板(13),所述连接板(13)均呈所述连接板(13)的靠近半导体晶片(6)的一端均横向固定安装有电动推杆三(14),所述电动推杆三(14)输出轴均贯穿连接板(13),所述电动推杆三(14)输出轴的相对端均固定安装有直角夹板(15),所述直角夹板(15)表面均与半导体晶片(6)侧部相贴合;

所述直角夹板(15)顶部均开设有限位孔(16),所述限位孔(16)内均竖直贯穿有导杆(17),且限位孔(16)孔壁与导杆(17)表面相贴合,所述导杆(17)底端均固定安装有压板(18),所述压板(18)顶部均固定安装有复位弹簧(19),所述复位弹簧(19)顶端均固定连接在直角夹板(15)顶部下表面,所述复位弹簧(19)套设在导杆(17)表面,所述导杆(17)顶端均固定安装有限位板(20)。

2.根据权利要求1所述的一种用于半导体晶片切割的夹具,其特征在于:所述调节组件包括竖直设置的电动推杆一(7),所述电动推杆一(7)底部竖直固定安装在拱形支架(2)顶部上表面的中心处,所述电动推杆一(7)输出轴竖直贯穿拱形支架(2)顶部,且电动推杆一(7)输出轴底端水平固定连接有安装板一(8)。

3.根据权利要求2所述的一种用于半导体晶片切割的夹具,其特征在于:所述安装板一(8)底部横向固定安装有X轴电动滑台(9),所述X轴电动滑台(9)输出端底部纵向固定安装有Y轴电动滑台(10),所述Y轴电动滑台(10)输出端底部水平固定连接有安装板二(11),所述激光切割头(5)固定连接在安装板二(11)底部。

4.根据权利要求1所述的一种用于半导体晶片切割的夹具,其特征在于:所述压板(18)底部均固定安装有橡胶垫(21),所述橡胶垫(21)底部均与半导体晶片(6)顶部边缘处相贴合。

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