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专利号: 2023218672760
专利类型:实用新型
专利状态:未下证
专利领域: 暂无
更新日期:2024-05-22
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种晶圆封装散热机构,包括散热层(1)、半导体衬底(2)、散热孔(4)与焊球(5),其特征在于,所述散热层(1)的上端固定连接半导体衬底(2),半导体衬底(2)的内部设置有散热孔(4),散热孔(4)贯穿于半导体衬底(2)连接散热层(1),半导体衬底(2)的上端固定连接介质层(6),介质层(6)的内部设置有焊球(5),焊球(5)的内部设置有球下金属层(7),球下金属层(7)的内部设置有金属核(9)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆封装散热机构,其特征在于,所述介质层(6)的一侧设置有凹槽(3)。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆封装散热机构,其特征在于,所述金属核(9)的下端固定连接导电金属垫(8),导电金属垫(8)嵌合于钝化层(12)的内部。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆封装散热机构,其特征在于,所述钝化层(12)的上端设置有保护层(11)。

5.根据权利要求3所述的一种晶圆封装散热机构,其特征在于,所述钝化层(12)的下端设置有绝缘黏附层(13),绝缘黏附层(13)的下端连接衬底(10)。