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专利号: 2023218824814
专利类型:实用新型
专利状态:未下证
专利领域: 暂无
更新日期:2024-06-06
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种半导体晶片生产用电镀装置,包括加工底板(1),其特征在于:所述加工底板(1)上设有电镀装置,所述电镀装置包括电镀单元和连续单元,所述电镀单元安装于连续单元上,所述连续单元安装于加工底板(1)上;

所述连续单元包括升降限位座(201),所述升降限位座(201)内开设有升降滑槽,所述升降限位座(201)设有四组且分别对称分布于加工底板(1)四周,每一所述升降限位座(201)内均设有升降滑块(202),所述升降滑块(202)上设有液压推杆(203),且同侧所述升降滑块(202)均连接有一限位滑轨(204),所述限位滑轨(204)内开设有滑动轨道(205),所述滑动轨道(205)左右两顿分别对称分布有滑动辊(206)和定位辊(207),其中所述电镀装置安装于滑动辊(206)和定位辊(207)上。

2.根据权利要求1所述的一种半导体晶片生产用电镀装置,其特征在于:所述升降限位座(201)竖直固定安装于加工底板(1)上,所述升降限位座(201)通过升降滑槽与升降滑块(202)滑动连接,所述升降滑块(202)通过紧固件与液压推杆(203)连接,所述液压推杆(203)竖直固定安装于加工底板(1)上,所述升降滑块(202)与限位滑轨(204)焊接。

3.根据权利要求2所述的一种半导体晶片生产用电镀装置,其特征在于:所述滑动轨道(205)开设于限位滑轨(204)中,且所述滑动辊(206)通过滑动轨道(205)与限位滑轨(204)滑动连接,所述定位辊(207)通过滑动轨道(205)与限位滑轨(204)固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种半导体晶片生产用电镀装置,其特征在于:所述电镀单元包括皮带轮(301),所述皮带轮(301)设有四组且分别对称分布于滑动辊(206)和定位辊(207)上,所述皮带轮(301)上设有牵引钢带(302),所述牵引钢带(302)中部设有牵引辊(303),所述牵引辊(303)两端对称分布有连杆(304),所述连杆(304)顶部设有连板(305),所述连板(305)顶端中部设有吊耳(306)。

5.根据权利要求4所述的一种半导体晶片生产用电镀装置,其特征在于:所述皮带轮(301)分别固定安装于滑动辊(206)和定位辊(207)上,所述牵引钢带(302)套设于皮带轮(301)上,所述牵引钢带(302)与牵引辊(303)活动连接,且所述连杆(304)套接于牵引辊(303)上,所述连杆(304)与连板(305)焊接,所述吊耳(306)竖直固定安装于连板(305)顶部。

6.根据权利要求5所述的一种半导体晶片生产用电镀装置,其特征在于:所述滑动辊(206)中部设有固定套筒(307),所述固定套筒(307)与滑动辊(206)固定连接,所述固定套筒(307)底部设有固定杆(308),所述固定杆(308)底部通过紧固件连接有放置笼(309),所述放置笼(309)上设有插口。

7.根据权利要求1所述的一种半导体晶片生产用电镀装置,其特征在于:所述加工底板(1)上设有三组电镀槽(4),且三个所述电镀槽(4)从左向右高度之间叠加。