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专利号: 2023222008556
申请人: 苏州云阔自动化科技有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2024-06-15
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种半导体测试装置,包括测试台(1)和支架(4),其特征在于,所述支架(4)整体呈L型,所述支架(4)内侧壁上安装有测试机箱(5),所述测试机箱(5)的底部位于所述测试台(1)的顶部,所述测试台(1)整体呈圆盘状,且所述测试台(1)顶部均匀设置有多个芯片定位机构(2),所述支架(4)的下部结构和所述测试台(1)之间安装有换位驱动机构(3)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体测试装置,其特征在于,所述芯片定位机构(2)包括芯片定位框(21)、定位组件(22)和驱动按钮(23),所述定位组件(22)安装于所述芯片定位框(21)的内部贴合边框处,所述驱动按钮(23)安装于所述芯片定位框(21)前侧边框的顶部。

3.根据权利要求2所述的一种半导体测试装置,其特征在于,所述定位组件(22)包括夹持组件(221)、导向组件(222)和定位夹板(223),所述夹持组件(221)和所述导向组件(222)分别安装于所述芯片定位框(21)内部的前后边框的内壁内部,所述定位夹板(223)有两个平行分布且于所述夹持组件(221)驱动端和所述导向组件(222)导向端相对接。

4.根据权利要求3所述的一种半导体测试装置,其特征在于,所述夹持组件(221)包括双轴减速电机(2211)、驱动丝杆(2212)和螺纹套管(2213),所述双轴减速电机(2211)位于中心,所述驱动丝杆(2212)有两个分别对接于所述双轴减速电机(2211)两侧输出端上,所述螺纹套管(2213)有两个分别螺纹套接于两侧所述驱动丝杆(2212)上,两侧所述螺纹套管(2213)外侧面分别与两侧所述定位夹板(223)同侧一端固定连接。

5.根据权利要求3所述的一种半导体测试装置,其特征在于,所述导向组件(222)包括导向柱(2221)和导向套管(2222),所述导向柱(2221)安装于所述芯片定位框(21)前侧边框的内部,所述导向套管(2222)有两个分别滑动套接于所述导向柱(2221)的两端,两侧所述导向套管(2222)外侧面分别与两侧所述定位夹板(223)同侧一端固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种半导体测试装置,其特征在于,所述换位驱动机构(3)包括底支架(31)、步进电机(32)和支撑台(33),所述底支架(31)安装于所述支架(4)下部结构的上方,所述支撑台(33)安装于所述底支架(31)的顶部,所述测试台(1)整体转动安装于所述底支架(31)的顶部,所述步进电机(32)安装于所述底支架(31)底部的中心,且所述步进电机(32)的输出轴穿过所述支撑台(33)与所述测试台(1)底部中心固定连接。

7.根据权利要求1所述的一种半导体测试装置,其特征在于,所述测试机箱(5)底部设置有测试通道(51)。