1.一种单片式晶圆清洗装置的清洗机构，包括机箱(1)、清洗外壳(2)和晶圆清洗台(5)，其特征在于：所述机箱(1)上端固定连接有清洗外壳(2)，所述清洗外壳(2)内侧设有晶圆清洗台(5)，所述清洗外壳(2)侧面设有喷水头(4)，所述喷水头(4)与循环泵(3)出水口固定连接，所述清洗外壳(2)前侧转动连接有门板(6)，所述门板(6)内侧固定连接有观察玻璃(7)，所述观察玻璃(7)与橡胶刮板(9)紧贴，所述橡胶刮板(9)一端与导轨(10)连接，所述橡胶刮板(9)另一端与滑块(15)固定连接，所述滑块(15)中间螺旋连接有螺纹杆(14)，所述螺纹杆(14)底端与驱动电机(13)主轴固定连接，所述驱动电机(13)固定连接在电机箱(11)底端内侧，所述门板(6)内侧下端开设有导流槽(8)，所述机箱(1)上端内侧开设有收集口(16)，所述收集口(16)一端内侧固定连接有海绵垫(17)，所述收集口(16)与收集水箱(18)连通，所述收集水箱(18)通过过滤管(19)与循环泵(3)连通。

2.根据权利要求1所述的一种单片式晶圆清洗装置的清洗机构，其特征在于：所述导轨(10)和电机箱(11)均固定连接在门板(6)内侧，所述导轨(10)和电机箱(11)之间平行，所述电机箱(11)一端内侧开设有限位槽(12)，所述橡胶刮板(9)一端滑动连接在限位槽(12)内侧，所述导流槽(8)开设在观察玻璃(7)下端。

3.根据权利要求1所述的一种单片式晶圆清洗装置的清洗机构，其特征在于：所述滑块(15)的横截面为正方形，所述滑块(15)滑动连接在电机箱(11)内侧，所述滑块(15)和螺纹杆(14)之间的夹角为90°，所述螺纹杆(14)远离驱动电机(13)主轴的一端与电机箱(11)转动连接。

4.根据权利要求1所述的一种单片式晶圆清洗装置的清洗机构，其特征在于：所述收集口(16)和海绵垫(17)的上端面设置在同一水平面，所述收集口(16)的深度为10cm，所述海绵垫(17)的高度为3cm。

5.根据权利要求1所述的一种单片式晶圆清洗装置的清洗机构，其特征在于：所述收集水箱(18)与机箱(1)之间通过螺栓固定连接，所述循环泵(3)一端与清洗外壳(2)固定连接，所述循环泵(3)设置在收集水箱(18)上端。