1.硅片清洗甩干装置,包括底座(1)、清洗筒(2)、排水管(3),所述清洗筒(2)固定在所述底座(1)上方,所述排水管(3)固定在所述清洗筒(2)侧面,其特征在于:还包括用于带动硅片旋转的旋转机构(4),所述旋转机构(4)安装在所述底座(1)上;
所述旋转机构(4)包括固定板(401)、电动推杆(402)、升降板(403)、盖板(404)、电机(405)、夹持组件,所述电动推杆(402)安装在所述固定板(401)上方,所述升降板(403)安装在所述电动推杆(402)上方,所述盖板(404)固定在所述升降板(403)前部,所述电机(405)固定在所述盖板(404)上方,所述夹持组件安装在所述电机(405)输出端,所述夹持组件包括固定轴(406)、固定盘(407)、第一顶杆(408)、支撑架(409)、转动套(410)、转动杆(411)、第二顶杆(412),所述固定盘(407)安装在所述固定轴(406)下方,所述第一顶杆(408)安装在所述固定盘(407)上,所述支撑架(409)安装在所述固定盘(407)下方,所述转动套(410)安装在所述固定轴(406)外侧,所述转动杆(411)固定在所述转动套(410)外侧,所述第二顶杆(412)固定在所述转动杆(411)上。
2.根据权利要求1所述的硅片清洗甩干装置,其特征在于:所述旋转机构(4)上安装有固定机构(5),所述固定机构(5)包括固定块(501)、转动组件,所述转动组件安装在所述固定块(501)外侧。
3.根据权利要求2所述的硅片清洗甩干装置,其特征在于:所述转动组件包括转动壳(502)、转动柱(503),所述转动柱(503)固定在所述转动壳(502)下方。
4.根据权利要求1所述的硅片清洗甩干装置,其特征在于:所述电机(405)与所述盖板(404)通过螺栓连接,所述支撑架(409)的材质为不锈钢。
5.根据权利要求1所述的硅片清洗甩干装置,其特征在于:所述转动杆(411)的数量为八个,所述第二顶杆(412)与所述转动杆(411)焊接。
6.根据权利要求3所述的硅片清洗甩干装置,其特征在于:所述转动壳(502)与所述固定块(501)转动连接,所述转动柱(503)的数量为八个。