1.一种化学机械研磨设备,包括研磨箱(1)和安装在研磨箱(1)内部的研磨机构,其特征在于:所述研磨箱(1)的内部固定连接有弧形板(2),所述弧形板(2)上开设有筛孔(21),所述研磨机构包括设在研磨箱(1)内部的活动架(3),所述活动架(3)的内部转动连接有研磨辊(31),所述活动架(3)上设有对研磨辊(31)进行刮料的刮料机构,所述活动架(3)的顶部固定连接有连接杆(4),所述连接杆(4)的另一端固定连接有转杆(5),所述连接杆(4)通过转杆(5)转动连接在研磨箱(1)的内部,所述研磨箱(1)的内部设有驱动活动架(3)往复摆动的摆动机构。
2.根据权利要求1所述的一种化学机械研磨设备,其特征在于:所述刮料机构包括安装在活动架(3)内顶壁的固定座(7),所述固定座(7)的内部连接有刮板(71)。
3.根据权利要求2所述的一种化学机械研磨设备,其特征在于:所述刮板(71)和固定座(7)之间通过弹簧(72)相连接,所述刮板(71)的一端与所述研磨辊(31)相抵紧。
4.根据权利要求1所述的一种化学机械研磨设备,其特征在于:所述摆动机构包括转动在研磨箱(1)内部的两个转动板(6),两个所述转动板(6)之间连接有挤压杆(61),所述连接杆(4)上开设有通槽(41),所述挤压杆(61)设在通槽(41)的内部。
5.根据权利要求1所述的一种化学机械研磨设备,其特征在于:所述弧形板(2)的底部安装有与筛孔(21)相连通的输送箱(9),所述输送箱(9)的内部转动连接有输送绞龙(91),所述研磨箱(1)上安装有驱动输送绞龙(91)转动的驱动电机(92)。
6.根据权利要求5所述的一种化学机械研磨设备,其特征在于:所述研磨箱(1)上开设有与输送箱(9)相连通的出料口(11),所述研磨箱(1)的顶部安装有加料斗(8),所述加料斗(8)的内部设有对原料破碎的破碎机构。
7.根据权利要求6所述的一种化学机械研磨设备,其特征在于:所述破碎机构包括两个破碎辊(81),两个所述破碎辊(81)均转动连接在加料斗(8)的内部。