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专利号: 2023232236205
申请人: 合肥世纪金芯半导体有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
专利领域: 晶体生长〔3〕
更新日期:2025-01-06
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种N型碳化硅单晶生长用坩埚,包括:导电头(100)、盖体(110)以及下螺纹槽(230),其特征在于:所述导电头(100)下端设有感应加热座(140);

所述感应加热座(140)内侧设有保温内层(150),所述保温内层(150)内侧设有石墨体(220),所述石墨体(220)内侧下端设有下螺纹槽(230),所述石墨体(220)内侧上端设有上螺纹槽(190),所述下螺纹槽(230)内侧设有下螺纹座(210),所述下螺纹座(210)内侧设有放置腔(200);

所述放置腔(200)下端设有底座(160),所述上螺纹槽(190)内侧设有上螺纹座(180),所述上螺纹座(180)上端设有限位挡座(130),所述限位挡座(130)上端设有盖体(110),所述盖体(110)左右两侧均设有一组凹槽(120),所述盖体(110)上端设有进气管(170)。

2.根据权利要求1所述的一种N型碳化硅单晶生长用坩埚,其特征在于:所述导电头(100)与外部带电导线电性连接,所述导电头(100)与感应加热座(140)为一体机构,且导电头(100)与感应加热座(140)均为一种金属铜材料制成。

3.根据权利要求2所述的一种N型碳化硅单晶生长用坩埚,其特征在于:所述感应加热座(140)内侧与保温内层(150)保持贴合,所述感应加热座(140)上端与限位挡座(130)下端接触,所述感应加热座(140)下端与底座(160)上端接触。

4.根据权利要求3所述的一种N型碳化硅单晶生长用坩埚,其特征在于:所述底座(160)、放置腔(200)以及下螺纹座(210)为一体机构,所述下螺纹座(210)外侧开设有外螺纹,所述下螺纹座(210)与下螺纹槽(230)螺纹密封旋合。

5.根据权利要求1所述的一种N型碳化硅单晶生长用坩埚,其特征在于:所述盖体(110)、进气管(170)、限位挡座(130)以及上螺纹座(180)为一体机构,所述上螺纹座(180)外侧设有外螺纹,所述上螺纹座(180)与上螺纹槽(190)内侧螺纹密封嵌合。

6.根据权利要求5所述的一种N型碳化硅单晶生长用坩埚,其特征在于:所述盖体(110)、进气管(170)以及限位挡座(130)均为一组高纯度石墨材料制成,所述底座(160)、下螺纹座(210)以及石墨体(220)均与盖体(110)材料相同。

7.根据权利要求1所述的一种N型碳化硅单晶生长用坩埚,其特征在于:所述放置腔(200)内部放置有纯度大于99.9%的碳化硅粉料,所述感应加热座(140)加热温度为2350℃,且进气管(170)与外部惰性气体连接管密封连接并导入石墨体(220)内侧,所述保温内层(150)为一种高纯石墨毡,厚度为25mm。