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专利号: 202323223660X
申请人: 合肥世纪金芯半导体有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
专利领域: 晶体生长〔3〕
更新日期:2025-03-25
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种用于碳化硅晶体的退火载具,包括:上盖(100)、上隔网(110)以及撑柱(200),其特征在于:所述上盖(100)内侧设有上隔网(110);

所述上隔网(110)下端设有上螺纹柱,所述上螺纹柱下端外侧设有内螺槽(130),所述内螺槽(130)外侧设有上连接座(120),所述上连接座(120)下端设有透网(150),所述透网(150)下端设有下连接座(160);

所述下连接座(160)内侧设有下螺槽,所述下螺槽内侧设有上螺纹柱,所述上螺纹柱上端设有凸座(190),所述上螺纹柱下端设有底座(170),所述凸座(190)上端设有撑柱(200),所述透网(150)内部设有内腔(140)。

2.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅晶体的退火载具,其特征在于:所述上盖(100)与上螺纹柱为一体机构,所述上螺纹柱外侧设有外螺纹,所述上螺纹柱与内螺槽(130)内侧螺纹旋合。

3.根据权利要求2所述的一种用于碳化硅晶体的退火载具,其特征在于:所述内螺槽(130)设置在上连接座(120)内侧,所述上连接座(120)与透网(150)以及下连接座(160)为一体机构,所述上连接座(120)与下连接座(160)横截面高度一致。

4.根据权利要求3所述的一种用于碳化硅晶体的退火载具,其特征在于:所述上连接座(120)与下连接座(160)以及透网(150)均为一种石墨材料制成,所述下连接座(160)内侧与下螺纹柱(180)外侧螺纹旋合。

5.根据权利要求4所述的一种用于碳化硅晶体的退火载具,其特征在于:所述下螺纹柱(180)与底座(170)为一体机构,所述下螺纹柱(180)与凸座(190)为一体机构,所述凸座(190)横截面为一种梯形机构。

6.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅晶体的退火载具,其特征在于:所述凸座(190)横截面直径长度与透网(150)内侧横截面直径长度一致,上连接柱下端与凸座(190)上端结构一致。

7.根据权利要求6所述的一种用于碳化硅晶体的退火载具,其特征在于:所述凸座(190)上端设有若干组撑柱(200),所述撑柱(200)均为一种凸状柱形结构,若干组所述撑柱(200)横截面以圆形结构排列设置,所述撑柱(200)内部为一种镂空结构。