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专利号: 2023232657914
专利类型:实用新型
专利状态:未下证
专利领域: 暂无
更新日期:2024-08-16
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种PVT法生产碳化硅单晶设备,包括用于生产碳化硅单晶的碳化硅PVT炉主体(100)、排气阀门以及出气管(200),所述碳化硅PVT炉主体(100)左侧面上方安装有排气阀门,所述排气阀门左侧连接有出气管(200),其特征在于:所述出气管(200)左侧设置气滤组件(300);

所述气滤组件(300)包括抽气滤筒(301)、前滤板(302)以及后滤圈(303),所述抽气滤筒(301)内部右侧安装有前滤板(302),所述前滤板(302)右表面贯通开设有多个滤气孔(304);

所述前滤板(302)左侧安装有后滤圈(303),所述后滤圈(303)中间安装有玻纤细滤网(305),所述抽气滤筒(301)左侧设置有传输管(400),所述传输管(400)下方设置有降噪箱(500),所述降噪箱(500)内部安装有气体传输泵(900)。

2.如权利要求1所述的一种PVT法生产碳化硅单晶设备,其特征在于:所述降噪箱(500)左侧安装有输出管(700),所述降噪箱(500)背面贯通开设有多个散热通风孔。

3.如权利要求2所述的一种PVT法生产碳化硅单晶设备,其特征在于:所述传输管(400)下端与气体传输泵(900)的进气管连接,所述输出管(700)右端与气体传输泵(900)的排气管连接。

4.如权利要求3所述的一种PVT法生产碳化硅单晶设备,其特征在于:所述降噪箱(500)内部安装有隔音棉层(800),所述降噪箱(500)正面通过铰链安装有检修箱门(600)。

5.如权利要求4所述的一种PVT法生产碳化硅单晶设备,其特征在于:所述排气阀门与碳化硅PVT炉主体(100)内部连通,所述出气管(200)左端外壁设置有螺纹,所述抽气滤筒(301)的右端内壁设置有内螺槽。

6.如权利要求5所述的一种PVT法生产碳化硅单晶设备,其特征在于:所述出气管(200)左端与抽气滤筒(301)右端通过螺纹旋转连接,所述抽气滤筒(301)内部左侧安装有密封胶圈,所述抽气滤筒(301)内部左侧套在传输管(400)右端外侧,其传输管(400)右端外壁与密封胶圈内壁紧密贴合。

7.如权利要求1所述的一种PVT法生产碳化硅单晶设备,其特征在于:所述前滤板(302)为一种不锈钢制成,所述抽气滤筒(301)右端的直径长度大于其左端的直径长度,所述碳化硅PVT炉主体(100)由PVT炉、加热元件、气体供应系统和温度控制系统构成。