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专利号: 2023232969988
专利类型:实用新型
专利状态:未下证
专利领域: 暂无
更新日期:2024-08-09
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种碳化硅长晶炉,包括用于碳化硅长晶的炉体(100)、入料管(200)以及辅料管(300),所述炉体(100)上方中间安装有入料管(200),所述入料管(200)右后方安装有辅料管(300),其特征在于:所述入料管(200)上方连接有入料筛箱(500);

所述入料筛箱(500)正面上方开设有两个屉腔(700),每个所述屉腔(700)内分别安装有一个分料屉(800),两个所述分料屉(800)内部下方分别安装有一个分料网(130),两个所述分料网(130)上表面中间分别安装时有一个小型振动电机(140);

两个所述屉腔(700)内部左右两侧分别开设有一个安装槽(900),所述分料屉(800)左右两侧分别安装有一个滑入条(110),所述分料屉(800)通过两个滑入条(110)与两个安装槽(900)滑动连接。

2.如权利要求1所述的一种碳化硅长晶炉,其特征在于:所述入料筛箱(500)上方通过铰链连接有封闭板(600),所述辅料管(300)上方通过铰链连接有盖板(400)。

3.如权利要求2所述的一种碳化硅长晶炉,其特征在于:所述入料筛箱(500)与入料管(200)内部连通,所述辅料管(300)与炉体(100)内部连通。

4.如权利要求3所述的一种碳化硅长晶炉,其特征在于:两个所述分料屉(800)正面中间分别安装有一个推拉把手(120),两个所述分料屉(800)四周分别安装有耐高温密封胶条。

5.如权利要求4所述的一种碳化硅长晶炉,其特征在于:上方所述分料网(130)的孔径大于下方分料网(130)的孔径,所述分料网(130)的为多根不锈钢丝交叉组合构成。

6.如权利要求1所述的一种碳化硅长晶炉,其特征在于:两个所述分料屉(800)的长度与宽度相同,所述炉体(100)由加热机构、气氛控制系统、单晶生长机构、冷却系统以及自动化控制系统构成。

7.如权利要求1所述的一种碳化硅长晶炉,其特征在于:封闭板(600)和盖板(400)下表面四周分别安装有密封胶条,所述入料管(200)与炉体(100)内部连通。