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专利号: 2023233531010
申请人: 深圳市宸悦存储电子科技有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
专利领域: 机床;其他类目中不包括的金属加工
更新日期:2025-04-16
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种精度高的半导体晶圆切割设备,其特征在于,包括:

壳体(1),所述壳体(1)内部的一侧架设有活动连接的激光器(2);

转动组件(3),所述转动组件(3)设置在壳体(1)内部,所述转动组件(3)包括转动电机(33)和支撑座(32),所述转动电机(33)的底部与壳体(1)的内底部固定连接,所述转动电机(33)的输出端设有固定连接的转盘(31),且所述转盘(31)的顶部设有若干均匀分布的放置盘(6);

所述转盘(31)的底部架设有固定连接的固定架(34),所述固定架(34)上与放置盘(6)相对部位均设有固定连接的气缸(4);

所述支撑座(32)固定安装在壳体(1)内部,且所述支撑座(32)外壁与气缸(4)相对部位设有光电开关(321)。

2.根据权利要求1所述的精度高的半导体晶圆切割设备,其特征在于,所述气缸(4)的顶部设有固定连接的支撑片(41),所述支撑片(41)顶部的中心设有固定连接的支撑柱(43),所述支撑片(41)顶部设有若干固定连接的顶片(42),且所述顶片(42)的外壁为倾斜的坡面。

3.根据权利要求1所述的精度高的半导体晶圆切割设备,其特征在于,所述转盘(31)内部与放置盘(6)相对部位的外侧开设有若干均匀分布的滑槽(312),所述滑槽(312)的内部插设有滑动连接的滑杆(51),所述滑杆(51)的顶部设有固定连接的限位片(5),所述滑杆(51)的底端设有固定连接的挤压片(54),且所述挤压片(54)的外壁为倾斜的坡面。

4.根据权利要求3所述的精度高的半导体晶圆切割设备,其特征在于,所述挤压片(54)的外壁设有固定连接的弹簧(52),所述弹簧(52)远离挤压片(54)的一端设有固定连接的挡片(53),且所述挡片(53)的顶端与转盘(31)的底部固定连接。

5.根据权利要求4所述的精度高的半导体晶圆切割设备,其特征在于,所述转盘(31)内部与每一放置盘(6)中心相对部位均开设有通孔(311),所述放置盘(6)内部与通孔(311)相对部位开设有通槽(61),且所述通槽(61)和通孔(311)内部插设有滑动连接的顶杆(47)。

6.根据权利要求5所述的精度高的半导体晶圆切割设备,其特征在于,若干所述顶杆(47)的底端与同一连接环(46)的顶部固定连接,所述连接环(46)的顶部设有若干固定连接的拉绳(44),所述拉绳(44)的外部套设有滑动连接的导向环(45),所述导向环(45)的顶端与转盘(31)的底部固定连接,且所若干所述拉绳(44)的远离连接环(46)的一端均与支撑柱(43)的顶端固定连接。

7.根据权利要求1所述的精度高的半导体晶圆切割设备,其特征在于,所述壳体(1)内部的一侧架设有第一电动滑轨(11),所述第一电动滑轨(11)上设有第二电动滑轨(12),所述第二电动滑轨(12)与激光器(2)的顶端连接,且所述壳体(1)的外部设有控制器(13)。