欢迎来到知嘟嘟! 联系电话:13095918853 卖家免费入驻,海量在线求购! 卖家免费入驻,海量在线求购!
知嘟嘟
我要发布
联系电话:13095918853
知嘟嘟经纪人
收藏
专利号: 2023233779270
申请人: 合肥世纪金芯半导体有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
专利领域: 晶体生长〔3〕
更新日期:2024-12-24
缴费截止日期: 暂无
价格&联系人
年费信息
委托购买

摘要:

权利要求书:

1.一种PVT法SiC单晶生长坩埚,包括第一外坩埚(1)、第二外坩埚(2)和内坩埚(9),其特征在于:所述第二外坩埚(2)顶部开设有控温孔(14),所述第二外坩埚(2)内壁上成圆周阵列固定设置有第一限位条(4),所述第二外坩埚(2)内部顶部内壁上固定连接有内坩埚顶座(17),所述内坩埚顶座(17)边缘处呈圆周阵列设置有第二导热凸起(18),所述内坩埚顶座(17)内部开设有空腔(15),所述空腔(15)内部固定设置有冷却管(19),所述冷却管(19)一端固定连接有进水管(13),所述冷却管(19)另一端固定连接有出水管(16)。

2.根据权利要求1所述的一种PVT法SiC单晶生长坩埚,其特征在于:所述第一外坩埚(1)内壁上呈圆周阵列设置有第二限位条(5),所述第一外坩埚(1)底部内壁上固定连接有内坩埚底座(7),所述内坩埚底座(7)边缘处呈圆周阵列设置有第一导热凸起(8)。

3.根据权利要求1所述的一种PVT法SiC单晶生长坩埚,其特征在于:所述内坩埚(9)顶部设置有坩埚盖(10),所述坩埚盖(10)内壁上固定连接有籽晶托(12),所述籽晶托(12)下表面固定设置有籽晶(11)。

4.根据权利要求1所述的一种PVT法SiC单晶生长坩埚,其特征在于:所述第一外坩埚(1)端口处固定连接有连接环(6),所述第二外坩埚(2)端口处开设有连接槽(3),所述连接槽(3)与连接环(6)键槽配合。

5.根据权利要求1所述的一种PVT法SiC单晶生长坩埚,其特征在于:所述内坩埚(9)设置在第一外坩埚(1)和第二外坩埚(2)内。

6.根据权利要求1所述的一种PVT法SiC单晶生长坩埚,其特征在于:所述进水管(13)和出水管(16)均贯穿空腔(15)顶部腔壁和第二外坩埚(2)顶部坩埚壁。