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专利号: 202323458748X
专利类型:实用新型
专利状态:未下证
专利领域: 暂无
更新日期:2024-08-09
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种具备环保废气处理功能的等离子体刻蚀机,包括刻蚀机本体(1),其特征在于:所述刻蚀机本体(1)左侧的底部固定连接有支撑板(2),所述支撑板(2)顶部的左侧固定连接有外壳(3),所述外壳(3)内腔的底部固定连接有吸风机(4),所述吸风机(4)的右侧连通有第一连接管(5),所述第一连接管(5)的右侧贯穿外壳(3)的内腔并延伸至外壳(3)的外部,所述第一连接管(5)的右侧与刻蚀机本体(1)连通,所述吸风机(4)的顶部连通有第二连接管(6),所述第二连接管(6)的顶部连通有过滤箱(7),所述过滤箱(7)的内腔设置有活性炭吸附层(8),所述过滤箱(7)的顶部连通有第三连接管(9),所述第三连接管(9)的顶部贯穿外壳(3)的内腔并延伸至外壳(3)的外部,所述外壳(3)的顶部固定连接有处理箱(10),所述第三连接管(9)的顶部与处理箱(10)连通,所述处理箱(10)的内腔固定连接有无纺布过滤层(11),所述处理箱(10)的内腔且位于无纺布过滤层(11)的顶部固定连接有陶瓷颗粒净化层(12)。

2.根据权利要求1所述的一种具备环保废气处理功能的等离子体刻蚀机,其特征在于:所述刻蚀机本体(1)左侧的顶部固定连接有顶板(13),所述顶板(13)的底部与处理箱(10)固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种具备环保废气处理功能的等离子体刻蚀机,其特征在于:所述处理箱(10)左侧的顶部连通有排出管(14),所述排出管(14)的左侧设置有接头。

4.根据权利要求1所述的一种具备环保废气处理功能的等离子体刻蚀机,其特征在于:所述过滤箱(7)的两侧均固定连接有加固块(15),所述加固块(15)远离过滤箱(7)的一侧与外壳(3)的内壁固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种具备环保废气处理功能的等离子体刻蚀机,其特征在于:所述第一连接管(5)的表面设置有控制阀(16),所述控制阀(16)为电磁阀。

6.根据权利要求1所述的一种具备环保废气处理功能的等离子体刻蚀机,其特征在于:所述刻蚀机本体(1)底部的两侧均固定连接有垫块(17),所述垫块(17)的底部设置有抗震垫。