1.一种光敏半导体生产用测试装置,包括测试机台(10)、防护壳(20)、光学检测模组(30)、一体化测试机构(40)和光敏半导体元件(50),其特征在于:所述测试机台(10)顶部的一侧安装有防护壳(20),所述防护壳(20)的侧面设置有光学检测模组(30),所述光敏半导体元件(50)安装在支撑组件(60)的内部,所述支撑组件(60)安装在一体化测试机构(40)的内侧,所述一体化测试机构(40)安装在所述防护壳(20)的内部,且与所述光学检测模组(30)电连接,所述一体化测试机构(40)包括有:
循环组件(70),所述循环组件(70)安装在所述测试机台(10)的顶部,且位于所述支撑组件(60)的外侧,所述循环组件(70)顶部的一侧安装有光功率调节组件(80),所述光功率调节组件(80)朝向光敏半导体元件(50)设置;以及反向偏置导电组件(90),所述反向偏置导电组件(90)安装在所述循环组件(70)顶部的另一侧,且转动连接在所述支撑组件(60)的内部中心处,所述反向偏置导电组件(90)朝向光敏半导体元件(50)设置,且与所述光敏半导体元件(50)电连接;
所述光功率调节组件(80)包括有:
伸缩气缸(801),所述伸缩气缸(801)安装在第二齿轮(705)顶部的一侧,所述伸缩气缸(801)的输出端连接有气杆(802),所述气杆(802)的顶部安装有万向球(803),所述万向球(803)的内顶部安装有安装座(804);
内安装部件(805),所述内安装部件(805)安装在所述安装座(804)的内侧,所述内安装部件(805)的内部安装有光照射仪(806),所述光照射仪(806)朝向光敏半导体元件(50)设置,其中,所述光照射仪(806)发出光照且穿过感光部(604)传输至光敏半导体元件(50)的光感应区(501);
外设架(807),所述外设架(807)通过螺钉安装在所述安装座(804)的外侧,且侧面安装有滑轨(808),所述滑轨(808)的侧面通过电动滑块连接有滑动架(809),所述滑动架(809)位于光照射仪(806)光线发射端的侧面;
所述反向偏置导电组件(90)包括有:
顶部架(901),所述顶部架(901)安装在所述第二齿轮(705)顶部的另一侧,且位于所述伸缩气缸(801)的侧面,所述顶部架(901)的底部安装有连杆(902),所述连杆(902)转动连接在支撑圆盘(602)内部的中心处;
外设套(903),所述外设套(903)安装在所述连杆(902)的外侧,且位于所述顶部架(901)的底部,所述外设套(903)的内部活动连接有活动框架(904),所述活动框架(904)和伺服马达(905)的输出端连接,所述伺服马达(905)安装在外设套(903)的一侧;
光功率测试设备(906),所述光功率测试设备(906)安装在所述活动框架(904)的内部,且朝向所述光敏半导体元件(50)设置,所述光功率测试设备(906)对光敏半导体元件(50)进行光学性质测试。
2.根据权利要求1所述的一种光敏半导体生产用测试装置,其特征在于:所述测试机台(10)的内底部安装有底板(101),所述底板(101)的顶部支撑有光学检测模组(30),以及所述测试机台(10)顶部的边缘处还设置有工作部(102),所述工作部(102)位于所述防护壳(20)的侧面。
3.根据权利要求2所述的一种光敏半导体生产用测试装置,其特征在于:所述光学检测模组(30)包括有:中控面板(301),所述中控面板(301)通过底部的支座(302)安装在所述测试机台(10)的顶部,且位于所述防护壳(20)的侧面,所述中控面板(301)的背面导线连接有数据处理模块(303);
驱动电源模块(304),所述驱动电源模块(304)安装在所述底板(101)的顶部,且与所述数据处理模块(303)导线连接,所述驱动电源模块(304)导线连接有所述光功率调节组件(80)和所述反向偏置导电组件(90)。
4.根据权利要求1所述的一种光敏半导体生产用测试装置,其特征在于:所述支撑组件(60)包括有:支撑柱(601),所述支撑柱(601)通过螺钉安装在所述测试机台(10)的顶部,所述支撑柱(601)的顶部安装有支撑圆盘(602),所述支撑圆盘(602)的顶部偏心处安装有支撑座(603),其中,所述支撑座(603)的内部支撑有所述光敏半导体元件(50),所述支撑座(603)靠近所述光功率调节组件(80)的一侧开设有感光部(604)。
5.根据权利要求4所述的一种光敏半导体生产用测试装置,其特征在于:所述循环组件(70)包括有:外置架(701),所述外置架(701)通过螺钉安装在所述测试机台(10)的顶部,且所述外置架(701)呈“Z”形设置,所述外置架(701)的顶部安装有驱动电机(702);
驱动轴(703),所述驱动轴(703)和所述驱动电机(702)的输出端连接,且转动连接在所述外置架(701)的底部,所述驱动轴(703)的底部安装有第一齿轮(704),所述第一齿轮(704)的侧面啮合连接有第二齿轮(705),其中,所述第一齿轮(704)和第二齿轮(705)均转动连接在所述测试机台(10)的顶部。
6.根据权利要求5所述的一种光敏半导体生产用测试装置,其特征在于:所述第一齿轮(704)和所述第二齿轮(705)的齿轮比为1:8,所述第二齿轮(705)的内侧中心处设置有所述支撑柱(601),以及所述第二齿轮(705)顶部的一侧安装有光功率调节组件(80),所述第二齿轮(705)顶部的另一侧安装有反向偏置导电组件(90)。
7.根据权利要求1所述的一种光敏半导体生产用测试装置,其特征在于:所述滑动架(809)的内部中心处安装有准直透镜(8091),所述准直透镜(8091)位于所述光照射仪(806)光线发射端的侧面,所述准直透镜(8091)远离所述光照射仪(806)的一侧设置有两组偏振分束棱镜(8092),以及所述偏振分束棱镜(8092)安装在定位环(8093)的内侧,两组所述定位环(8093)彼此相连接,且底部安装有电动滑杆(8094),所述电动滑杆(8094)安装在滑动架(809)的侧面,其中,所述电动滑杆(8094)位于准直透镜(8091)的外侧,且两组所述偏振分束棱镜(8092)之间留有间隙。
8.根据权利要求1所述的一种光敏半导体生产用测试装置,其特征在于:所述顶部架(901)的顶部安装有电池组(9011),所述电池组(9011)通过导线连接有导电插座(9012),其中,所述电池组(9011)的负电极和所述光敏半导体元件(50)的正极相连接,所述电池组(9011)的正电极和所述光敏半导体元件(50)的负极相连接。