1.一种晶圆测试装置，包括支架(1)，其特征在于，还包括：

底部开口的外罩(2)，固定连接在所述支架(1)上，

其中，所述外罩(2)的内顶部固定安装有升降设备(12)，所述升降设备(12)的伸缩端固定安装有柱形内罩(3)，所述内罩(3)的开口朝下设置；

圆周分布在所述内罩(3)内的多个检测板(5)，

其中，所述检测板(5)上安装有探针(6)，其中一个所述检测板(5)的探针(6)朝下设置，所述内罩(3)上设有驱动多个探针(6)围绕内罩(3)轴线公转的调节部，当所述内罩(3)向上移动至极限位置时，多个所述检测板(5)同步围绕内罩(3)的轴线转动固定角度。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆测试装置，其特征在于，所述调节部包括转动连接在内罩(3)内壁的转轴(7)，所述转轴(7)上固定安装有转盘(4)，多个所述检测板(5)安装在转盘(4)的圆周外壁上，其中，所述转轴(7)的一端固定安装有蜗轮(8)，所述内罩(3)的外壁转动安装有与蜗轮(8)啮合连接的蜗杆(9)，所述外罩(2)的内壁设有驱动蜗杆(9)转动的联动部。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆测试装置，其特征在于，所述联动部包括固定安装在外罩(2)内壁的齿条(11)，所述蜗杆(9)的轴端通过单向轴承安装有从动齿轮(10)，当所述内罩(3)向上移动至极限位置时，所述从动齿轮(10)与齿条(11)啮合。

4.根据权利要求2所述的一种晶圆测试装置，其特征在于，所述内罩(3)的上端两侧分别固定连接有吹气罩(13)与排风管(15)，所述吹气罩(13)与排风管(15)均与内罩(3)相连通，且所述吹气罩(13)的排气端与排风管(15)的输入端均朝向内罩(3)顶部的检测板(5)。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆测试装置，其特征在于，所述内罩(3)的顶部与外罩(2)的内顶部之间安装有伸缩气囊(22)，所述伸缩气囊(22)上固定连接有与其连通的吸气管(17)与排气管(14)，所述吸气管(17)与排气管(14)内均固定安装有单向阀，所述排气管(14)的排气端延伸至吹气罩(13)内。

6.根据权利要求4所述的一种晶圆测试装置，其特征在于，所述转盘(4)的外壁设有滑孔(18)，所述滑孔(18)内滑动连接有滑柱(19)，所述检测板(5)固定安装在滑柱(19)上，所述滑柱(19)与滑孔(18)的内壁之间通过第一弹簧(20)弹性连接。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆测试装置，其特征在于，所述外罩(2)的设有多个等间距设置的条形槽(16)，所述排风管(15)的末端贴合在外罩(2)的内壁上，当所述内罩(3)上下移动时，所述排风管(15)会依次滑过多个条形槽(16)，所述检测板(5)上固定连接有三角块(21)，所述三角块(21)的两个斜面分别朝向排风管(15)与吹气罩(13)。

8.根据权利要求5所述的一种晶圆测试装置，其特征在于，所述支架(1)上固定安装有输送带(31)，所述输送带(31)上固定连接有盖板(23)，所述盖板(23)与输送带(31)的侧板以及皮带之间形成通槽，所述输送带(31)的两侧分别固定连接有吸风管(25)与吸气罩(24)，其中，所述吸风管(25)与吸气罩(24)均与通槽相连通，所述吸气管(17)的末端延伸至吸气罩(24)内，且所述吸气罩(24)与吸风管(25)内均固定安装有滤芯(26)。

9.根据权利要求8所述的一种晶圆测试装置，其特征在于，所述盖板(23)的上端两侧均设有安装槽(30)，两个所述安装槽(30)内均纵向滑动安装有竖板(29)，两个所述竖板(29)的上端固定连接有压板(27)，所述压板(27)与盖板(23)之间安装有第二弹簧(28)，当所述内罩(3)向下移动至极限位置时，两个所述竖板(29)会分别封堵通槽的两个端口。

10.一种晶圆测试方法包括权利要求1-9任一项所述的一种晶圆测试装置，其特征在于，操作步骤如下：步骤一：将需要测试的晶圆置于内罩(3)的下方；

步骤二：使朝内罩(3)向下移动，直至朝下设置的探针(6)抵到下方的晶圆上；

步骤三：测试完成后，使内罩(3)向上移动，并更换晶圆；

步骤四：内罩(3)向上移动至极限位置时，更换另一组探针(6)，并使其朝下设置；

步骤五：重复步骤二至步骤四，完成所有晶圆的测试工作。