1.一种适用于薄片晶圆的非接触式晶圆夹具，包括底座(10)，其特征在于：所述底座(10)的顶部外壁转动连接有通道三(11)，所述通道三(11)的顶部外壁转动连接有通道四(12)，所述通道四(12)的顶部外壁固定连接有通气筒(6)，所述通气筒(6)的内壁滑动连接有密封滑板一(26)，所述密封滑板一(26)的内壁滑动连接有固定环板(46)，所述固定环板(46)通过设置的连杆与通气筒(6)的内壁固定连接，所述固定环板(46)的顶部外壁固定连接有主吸板(3)，所述主吸板(3)的外壁滑动连接有安装环一(2)，所述安装环一(2)的底部外壁固定连接有传动齿环(27)，所述传动齿环(27)的外壁啮合有齿轮五(48)，所述齿轮五(48)的外壁固定连接有电机二(49)，所述电机二(49)的外壁固定连接有固定板五(47)，所述固定板五(47)的外壁与主吸板(3)的底部固定连接，所述固定环板(46)的内部设置有通道五(39)，所述通道五(39)与主吸板(3)的底部外壁固定连接，所述通道五(39)的内壁滑动连接有浮子(40)，所述浮子(40)的内壁开设有若干均匀分布的气口一(41)，所述浮子(40)的下方开设有三个均匀分布的气口二(45)，所述通道五(39)的外壁连通有两个呈对称分布的通道六(43)，两个通道六(43)远离通道五(39)的一端均固定连接有连接口二(51)，所述密封滑板一(26)的外壁转动连接有安装环二(42)，两个所述通道六(43)的下方设置有同一个转动环一(24)，所述转动环一(24)与通气筒(6)的外壁转动连接，所述主吸板(3)的底部外壁固定连接有圆形安装板(25)，所述圆形安装板(25)的内壁滑动连接有两个限位保护杆(4)，所述圆形安装板(25)的外壁开设有四个气口三(50)，所述圆形安装板(25)的外壁转动连接有环形通道一(5)，所述环形通道一(5)的外壁固定连接有两个呈对称分布的通气管一(13)，所述安装环一(2)的外壁设置有两个呈圆周阵列分布的两用机构。

2.根据权利要求1所述的一种适用于薄片晶圆的非接触式晶圆夹具，其特征在于：所述两用机构包括副吸板(1)、滑杆一(7)、第一轴杆(19)、安装块一(18)、电机一(21)、连接口一(20)、第一轴杆(19)和齿柱(33)，所述滑杆一(7)与安装环一(2)的内壁滑动连接，所述滑杆一(7)的底部外壁与安装块一(18)固定连接，所述第一轴杆(19)的顶端与安装块一(18)的内壁转动连接，所述第一轴杆(19)的底端与滑杆一(7)的内壁转动连接，所述齿柱(33)固定连接在第一轴杆(19)的外壁，所述电机一(21)固定连接在安装块一(18)的外壁，所述电机一(21)的输出轴与副吸板(1)固定连接，所述连接口一(20)与副吸板(1)固定连接，所述副吸板(1)的底部外壁开设有若干均匀分布的吸气口(23)。

3.根据权利要求2所述的一种适用于薄片晶圆的非接触式晶圆夹具，其特征在于：两个所述齿柱(33)的外壁均设置有转动机构，两个所述转动机构呈圆周阵列分布，所述转动机构包括齿轮三(35)、第二锥齿轮(34)、第一锥齿轮(32)、安装板二(30)、安装板三(31)、齿轮六(54)、第二齿条(29)和连接杆二(28)，所述齿轮三(35)的外壁与齿柱(33)啮合，所述第二锥齿轮(34)与齿轮三(35)固定连接，所述齿轮三(35)与安装板二(30)转动连接，所述第二锥齿轮(34)的外壁与第一锥齿轮(32)啮合，所述第一锥齿轮(32)的外壁与齿轮六(54)固定连接，所述齿轮六(54)与安装板三(31)转动连接，所述安装板三(31)与安装板二(30)固定连接，所述第二齿条(29)与齿轮六(54)啮合，所述连接杆二(28)与第二齿条(29)固定连接，所述第二齿条(29)与安装板三(31)滑动连接。

4.根据权利要求3所述的一种适用于薄片晶圆的非接触式晶圆夹具，其特征在于：两个所述安装板二(30)均与转动环一(24)固定连接，两个所述连接杆二(28)均与转动环一(24)固定连接，两个所述滑杆一(7)的底部外壁均滑动连接有Y型滑杆(8)，两个所述Y型滑杆(8)的外壁均滑动连接有通道二(9)，两个所述通道二(9)均与通道三(11)相连通，所述通道三(11)与通道四(12)相连通，所述通道四(12)与风机(38)相连通，所述风机(38)与通气筒(6)相连通，所述通道四(12)的外壁固定连接有两个密封圈(37)。

5.根据权利要求4所述的一种适用于薄片晶圆的非接触式晶圆夹具，其特征在于：所述通气筒(6)的外壁固定连接有两个呈对称分布的切换机构，所述切换机构包括安装板一(15)、齿轮一(16)、托杆(17)、连接杆一(14)、密封板一(36)和密封板二(52)，所述安装板一(15)与通气筒(6)的外壁固定连接，所述齿轮一(16)与安装板一(15)转动连接，所述托杆(17)与安装板一(15)滑动连接，所述托杆(17)与齿轮一(16)的外壁啮合。

6.根据权利要求5所述的一种适用于薄片晶圆的非接触式晶圆夹具，其特征在于：所述托杆(17)的外壁与连接杆一(14)固定连接，所述密封板一(36)与连接杆一(14)固定连接，所述密封板二(52)与密封板一(36)固定连接。

7.根据权利要求4所述的一种适用于薄片晶圆的非接触式晶圆夹具，其特征在于：所述通气管一(13)远离圆形安装板(25)的一端与通道三(11)相连通，两个所述Y型滑杆(8)之间固定连接有拉簧(53)。

8.根据权利要求1所述的一种适用于薄片晶圆的非接触式晶圆夹具，其特征在于：所述安装环一(2)的外壁固定连接有两个呈圆周阵列分布的传动齿条一(22)，所述浮子(40)的底部外壁固定连接有两个呈对称分布的连接杆四(44)，所述连接杆四(44)远离浮子(40)的一端与密封滑板一(26)固定连接。