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专利号: 2024206867688
申请人: 天津汇泰硕半导体有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
专利领域: 一般喷射或雾化;对表面涂覆液体或其他流体的一般方法〔2〕
更新日期:2025-02-19
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种半导体晶圆加工用单晶硅封装设备,包括加工装置台(1),其特征在于:所述加工装置台(1)包括电机板(102)和安置腔(105),所述电机板(102)滑动连接有驱动机构(2),所述驱动机构(2)的底端固定连接有转向板(204),所述转向板(204)的一端固定连接有点胶机构(3),所述安置腔(105)的底面固定连接有冷却机构(4),所述冷却机构(4)上包括支导阀(404),所述支导阀(404)的顶端固定连接有导气机构(5)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆加工用单晶硅封装设备,其特征在于:所述加工装置台(1)的外层设置有装置外壳(101),所述装置外壳(101)的内壁固定连接有点胶板(103),所述点胶板(103)的顶面开设有点胶槽,所述点胶板(103)的底面开设有制冷腔(104)。

3.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆加工用单晶硅封装设备,其特征在于:所述驱动机构(2)的顶端固定连接有驱动电机(201),所述驱动电机(201)的底端固定连接有收纳套(202),所述收纳套(202)内滑动连接有驱动轴(203),所述驱动轴(203)与转向板(204)固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆加工用单晶硅封装设备,其特征在于:所述点胶机构(3)的顶端固定连接有通胶管(302),所述通胶管(302)的一端固定连接有胶体阀(301),所述胶体阀(301)的一侧转动连接有自律机关(303),所述胶体阀(301)的底面固定连接有喷胶头(304)。

5.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆加工用单晶硅封装设备,其特征在于:所述冷却机构(4)外侧设置有冷却壳(401),所述冷却壳(401)的内部固定连接有冷凝机(402),所述冷凝机(402)的机身固定连接有若干根连通管(403),所述连通管(403)与支导阀(404)固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆加工用单晶硅封装设备,其特征在于:所述导气机构(5)的底端固定连接有冷气泵(501),所述冷气泵(501)的顶面固定连接有喷气管(502),所述冷气泵(501)的底端连接有冷气管,冷气管连通支导阀(404)。