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专利号: 2024208579670
申请人: 周波
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
专利领域: 晶体生长〔3〕
更新日期:2024-12-17
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种垂直提拉式的单晶炉,包括主箱体(11),其特征在于:所述主箱体(11)上端面固定设有加热坩埚(17),所述加热坩埚(17)成圆柱状设置,所述主箱体(11)上端面转动设有升降轴(13),所述升降轴(13)外圆面设有能上下运动的导向机架(15),所述导向机架(15)与所述升降轴(13)螺纹配合,所述导向机架(15)内圆面固定设有围绕所述加热坩埚(17)的环形均匀分布的多组喷火枪(16);

所述主箱体(11)上端面固定设有防护机架(14),所述防护机架(14)上侧转动设有转动机架(24),所述转动机架(24)内设有开口向下的滑动腔(27),所述转动机架(24)上侧设有能上运动的滑动机架(25),所述滑动机架(25)下端面固定设有钨绳(26)且贯穿所述转动机架(24)。

2.根据权利要求1所述的一种垂直提拉式的单晶炉,其特征在于:所述防护机架(14)上端面内固定设有转动电机(21),所述防护机架(14)上端面转动设有转动轴(22),所述转动轴(22)下端面动力连接于所述转动电机(21),所述转动轴(22)外圆面与所述转动机架(24)固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种垂直提拉式的单晶炉,其特征在于:所述转动机架(24)后侧上端面固定设有能伸缩运动的气动伸缩杆(23),所述气动伸缩杆(23)另一端与所述滑动机架(25)固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种垂直提拉式的单晶炉,其特征在于:所述主箱体(11)内固定设有升降电机(12),所述升降轴(13)下端面动力连接于所述升降电机(12)。

5.根据权利要求1所述的一种垂直提拉式的单晶炉,其特征在于:所述加热坩埚(17)内设有储存腔(18),所述储存腔(18)下侧倾斜设置,所述储存腔(18)下壁内固定设有阀门(19),所述加热坩埚(17)上端面固定设有限位机架(28),所述限位机架(28)前端面固定设有外接管子(29)。

6.根据权利要求1所述的一种垂直提拉式的单晶炉,其特征在于:所述防护机架(14)内设有开口向下的升降腔(20),所述防护机架(14)前端面固定设有控制面板(30)。