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专利号: 2024215742041
专利类型:实用新型
专利状态:未下证
专利领域: 暂无
更新日期:2025-02-21
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种集成电路芯片制造用废气处理设备,包括废气处理设备本体(1),其特征在于:所述废气处理设备本体(1)的左侧开设有进风口(2),所述进风口(2)的内部设置有限位结构(3),所述废气处理设备本体(1)底部的四周均固定连接有支腿(4),所述废气处理设备本体(1)正面的右侧固定连接有控制器(5),所述废气处理设备本体(1)的右侧开设有出风口(6),所述限位结构(3)包括过滤板(301),所述过滤板(301)位于进风口(2)内部,所述进风口(2)的左侧的四周均固定连接有圆杆(302),所述圆杆(302)的表面套接有限位块(303),所述过滤板(301)的左侧固定连接有壳体(304),所述壳体(304)内壁的内侧固定连接有把手(305)。

2.根据权利要求1所述的一种集成电路芯片制造用废气处理设备,其特征在于:所述废气处理设备本体(1)正面的底部开设有通风孔(7),所述通风孔(7)的内部固定连接有防尘网(8)。

3.根据权利要求1所述的一种集成电路芯片制造用废气处理设备,其特征在于:所述废气处理设备本体(1)正面左侧的顶部固定连接有连接块(9),所述连接块(9)的正面固定连接有警报灯(10)。

4.根据权利要求1所述的一种集成电路芯片制造用废气处理设备,其特征在于:所述废气处理设备本体(1)正面的左侧固定连接有盒体(11),所述盒体(11)正面的左侧通过合页活动连接有盖板(12)。

5.根据权利要求1所述的一种集成电路芯片制造用废气处理设备,其特征在于:所述废气处理设备本体(1)正面的左侧设置有急停按钮(13),所述急停按钮(13)位于警报灯(10)的底部。